传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2009年
9期
1261-1265
,共5页
刘恒%张富堂%张凤田%何晓平%苏伟
劉恆%張富堂%張鳳田%何曉平%囌偉
류항%장부당%장봉전%하효평%소위
微机械电子系统%微加速度计%检测电压%静电刚度
微機械電子繫統%微加速度計%檢測電壓%靜電剛度
미궤계전자계통%미가속도계%검측전압%정전강도
静电作用在在平行板电容器上会产生等效静电负刚度,介绍了基于静电刚度的谐振式微加速度计设计原理,建立了其动力学模型.根据检测电压的约束条件,求解了其可行范围.同时分析了检测电压对系统灵敏度、可靠性和量程及输出电压的影响.分析结果表明:检测电压越大,灵敏度越大,但可靠性和量程会相应减少,反之亦然;直流检测电压的存在使得输出电压不受检测电容并行的寄生电容影响.理论分析结果为谐振式微传感器的系统设计提供了重要依据.
靜電作用在在平行闆電容器上會產生等效靜電負剛度,介紹瞭基于靜電剛度的諧振式微加速度計設計原理,建立瞭其動力學模型.根據檢測電壓的約束條件,求解瞭其可行範圍.同時分析瞭檢測電壓對繫統靈敏度、可靠性和量程及輸齣電壓的影響.分析結果錶明:檢測電壓越大,靈敏度越大,但可靠性和量程會相應減少,反之亦然;直流檢測電壓的存在使得輸齣電壓不受檢測電容併行的寄生電容影響.理論分析結果為諧振式微傳感器的繫統設計提供瞭重要依據.
정전작용재재평행판전용기상회산생등효정전부강도,개소료기우정전강도적해진식미가속도계설계원리,건립료기동역학모형.근거검측전압적약속조건,구해료기가행범위.동시분석료검측전압대계통령민도、가고성화량정급수출전압적영향.분석결과표명:검측전압월대,령민도월대,단가고성화량정회상응감소,반지역연;직류검측전압적존재사득수출전압불수검측전용병행적기생전용영향.이론분석결과위해진식미전감기적계통설계제공료중요의거.
