信息与电子工程
信息與電子工程
신식여전자공정
INFORMATION AND ELECTRONIC ENGINEERING
2011年
3期
384-387
,共4页
贾小慧%高杨%郑英彬%柏鹭
賈小慧%高楊%鄭英彬%柏鷺
가소혜%고양%정영빈%백로
微电子机械系统%分布式移相器%工艺%直流偏置
微電子機械繫統%分佈式移相器%工藝%直流偏置
미전자궤계계통%분포식이상기%공예%직류편치
设计了一种五位分布式微电子机械系统(MEMS)移相器,通过分析对比传统分布式MEMS移相器加载直流偏置的两种方式,提出了一种新的直流偏置的加载方式,能解决传统方式带来的交直流干扰和引线繁杂问题,同时工艺容易实现.采用ADS软件对移相器进行级联仿真,优化了微波性能参数,仿真得出移相器在35 GHz时移相精确度小于3°,移相器的插入损耗小于0.5dB,回波损耗大于23 dB.给出了五位分布式MEMS移相器的工艺流程,同时验证了所设计加载直流偏置方式工艺简单的优势.
設計瞭一種五位分佈式微電子機械繫統(MEMS)移相器,通過分析對比傳統分佈式MEMS移相器加載直流偏置的兩種方式,提齣瞭一種新的直流偏置的加載方式,能解決傳統方式帶來的交直流榦擾和引線繁雜問題,同時工藝容易實現.採用ADS軟件對移相器進行級聯倣真,優化瞭微波性能參數,倣真得齣移相器在35 GHz時移相精確度小于3°,移相器的插入損耗小于0.5dB,迴波損耗大于23 dB.給齣瞭五位分佈式MEMS移相器的工藝流程,同時驗證瞭所設計加載直流偏置方式工藝簡單的優勢.
설계료일충오위분포식미전자궤계계통(MEMS)이상기,통과분석대비전통분포식MEMS이상기가재직류편치적량충방식,제출료일충신적직류편치적가재방식,능해결전통방식대래적교직류간우화인선번잡문제,동시공예용역실현.채용ADS연건대이상기진행급련방진,우화료미파성능삼수,방진득출이상기재35 GHz시이상정학도소우3°,이상기적삽입손모소우0.5dB,회파손모대우23 dB.급출료오위분포식MEMS이상기적공예류정,동시험증료소설계가재직류편치방식공예간단적우세.
