传感器世界
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전감기세계
SENSOR WORLD
2012年
3期
6-9
,共4页
相结构%电阻-温度特性%气敏特性
相結構%電阻-溫度特性%氣敏特性
상결구%전조-온도특성%기민특성
利用离子束溅射沉积的方式在Al2O3陶瓷基片表面制备了In2O3薄膜,并分别研究了热处理温度对薄膜相结构、电阻-温度特性及气敏特性的影响.结果表明:薄膜相结构受热处理温度影响显著,热处理温度高于600℃时,薄膜相结构由无定形状态变为立方相状态；随着热处理温度的升高,薄膜电阻率显著增大；薄膜对CO气体具有良好的气敏特性,热处理温度为600℃时,薄膜对CO气体灵敏度达到最大值.
利用離子束濺射沉積的方式在Al2O3陶瓷基片錶麵製備瞭In2O3薄膜,併分彆研究瞭熱處理溫度對薄膜相結構、電阻-溫度特性及氣敏特性的影響.結果錶明:薄膜相結構受熱處理溫度影響顯著,熱處理溫度高于600℃時,薄膜相結構由無定形狀態變為立方相狀態；隨著熱處理溫度的升高,薄膜電阻率顯著增大；薄膜對CO氣體具有良好的氣敏特性,熱處理溫度為600℃時,薄膜對CO氣體靈敏度達到最大值.
이용리자속천사침적적방식재Al2O3도자기편표면제비료In2O3박막,병분별연구료열처리온도대박막상결구、전조-온도특성급기민특성적영향.결과표명:박막상결구수열처리온도영향현저,열처리온도고우600℃시,박막상결구유무정형상태변위립방상상태；수착열처리온도적승고,박막전조솔현저증대；박막대CO기체구유량호적기민특성,열처리온도위600℃시,박막대CO기체령민도체도최대치.
