基于MEMS技术的红外成像焦平面阵列
기우MEMS기술적홍외성상초평면진렬
A MEMS Based Focus Plane Array for Infrared Imaging
  • 万方数据
    半导体学报 반도체학보
    CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
    2006年 1期 150-155 ,共6页

    李超波%焦斌斌%石莎莉%叶甜春%陈大鹏%张青川%郭哲颖%董凤良%伍小平

    리초파%초빈빈%석사리%협첨춘%진대붕%장청천%곽철영%동봉량%오소평

    微机械%焦平面阵列%光力学%低压化学气相淀积%氮化硅%噪声等效温度差 微機械%焦平麵陣列%光力學%低壓化學氣相澱積%氮化硅%譟聲等效溫度差
    미궤계%초평면진렬%광역학%저압화학기상정적%담화규%조성등효온도차
    选用Au和LPCVD的低应力SiNx薄膜材料,采用MEMS技术研制了新型间隔镀金热隔离结构的薄膜镂空式非制冷红外成像焦平面阵列,并应用光学读出的方法成功地在室温(27.47℃)背景下获得了人体的热像.实验证明间隔镀金热隔离结构的引入有效抑制了热传导对变形梁温升的限制,从而大大降低了系统的噪声等效温度差(NETD),NETD达到约200mK.
    선용Au화LPCVD적저응력SiNx박막재료,채용MEMS기술연제료신형간격도금열격리결구적박막루공식비제랭홍외성상초평면진렬,병응용광학독출적방법성공지재실온(27.47℃)배경하획득료인체적열상.실험증명간격도금열격리결구적인입유효억제료열전도대변형량온승적한제,종이대대강저료계통적조성등효온도차(NETD),NETD체도약200mK.
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