稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2007年
z3期
17-20
,共4页
魏权%曹全喜%姜海青%李智敏%崔彬
魏權%曹全喜%薑海青%李智敏%崔彬
위권%조전희%강해청%리지민%최빈
TiO2薄膜%溶胶-凝胶工艺%椭偏光谱
TiO2薄膜%溶膠-凝膠工藝%橢偏光譜
TiO2박막%용효-응효공예%타편광보
采用溶胶-凝胶工艺制备TiO2薄膜.XRD结果表明所制备TiO2薄膜为锐钛矿结构.场发射SEM结果显示TiO2薄膜致密、无裂纹,晶粒尺寸约为60～100 nm,单层薄膜厚度约为50 nm,且膜厚随着热处理温度的升高而增大.采用椭圆偏振光谱仪测试了薄膜的椭偏参数ψ、△与波长λ的色散关系,选用Cauchy模型对TiO2薄膜的折射率、消光系数和厚度进行了拟合.结果表明当波长大于800 nm时,TiO2薄膜的折射率在2.09～2.20左右,消光系数约为0.026.并对不同热处理温度下制备的TiO2薄膜光学常数及厚度进行了分析讨论.
採用溶膠-凝膠工藝製備TiO2薄膜.XRD結果錶明所製備TiO2薄膜為銳鈦礦結構.場髮射SEM結果顯示TiO2薄膜緻密、無裂紋,晶粒呎吋約為60～100 nm,單層薄膜厚度約為50 nm,且膜厚隨著熱處理溫度的升高而增大.採用橢圓偏振光譜儀測試瞭薄膜的橢偏參數ψ、△與波長λ的色散關繫,選用Cauchy模型對TiO2薄膜的摺射率、消光繫數和厚度進行瞭擬閤.結果錶明噹波長大于800 nm時,TiO2薄膜的摺射率在2.09～2.20左右,消光繫數約為0.026.併對不同熱處理溫度下製備的TiO2薄膜光學常數及厚度進行瞭分析討論.
채용용효-응효공예제비TiO2박막.XRD결과표명소제비TiO2박막위예태광결구.장발사SEM결과현시TiO2박막치밀、무렬문,정립척촌약위60～100 nm,단층박막후도약위50 nm,차막후수착열처리온도적승고이증대.채용타원편진광보의측시료박막적타편삼수ψ、△여파장λ적색산관계,선용Cauchy모형대TiO2박막적절사솔、소광계수화후도진행료의합.결과표명당파장대우800 nm시,TiO2박막적절사솔재2.09～2.20좌우,소광계수약위0.026.병대불동열처리온도하제비적TiO2박막광학상수급후도진행료분석토론.
