传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
12期
109-111,118
,共4页
微加热器%感应加热%微机电系统%微喷嘴%ANSYS
微加熱器%感應加熱%微機電繫統%微噴嘴%ANSYS
미가열기%감응가열%미궤전계통%미분취%ANSYS
提出了一种用于热微喷头的感应加热器新结构.进行了相关的结构和工艺设计,在MEMS工艺环境下制作出了可以非接触加热,工艺结构简单,使用寿命长的微感应加热器.使用ANSYS对微感应加热器进行了建模和仿真分析,结果显示:感应加热器的最大加热功率可达到5 mW以上,满足设计要求,同时得到了感应加热器的功率影响因素.
提齣瞭一種用于熱微噴頭的感應加熱器新結構.進行瞭相關的結構和工藝設計,在MEMS工藝環境下製作齣瞭可以非接觸加熱,工藝結構簡單,使用壽命長的微感應加熱器.使用ANSYS對微感應加熱器進行瞭建模和倣真分析,結果顯示:感應加熱器的最大加熱功率可達到5 mW以上,滿足設計要求,同時得到瞭感應加熱器的功率影響因素.
제출료일충용우열미분두적감응가열기신결구.진행료상관적결구화공예설계,재MEMS공예배경하제작출료가이비접촉가열,공예결구간단,사용수명장적미감응가열기.사용ANSYS대미감응가열기진행료건모화방진분석,결과현시:감응가열기적최대가열공솔가체도5 mW이상,만족설계요구,동시득도료감응가열기적공솔영향인소.
