仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2011年
12期
10-11,26
,共3页
陈泓波%黄向东%刘立丰%朱加兴
陳泓波%黃嚮東%劉立豐%硃加興
진홍파%황향동%류립봉%주가흥
电容%传感器%微位移
電容%傳感器%微位移
전용%전감기%미위이
设计了一种单极板调频式电容位移传感器,可实现非接触微位移测量.其原理为通过双路差频方法得到位移-频率的调制信号,再由乘法器鉴频得到位移变化量.电路包括测头及LC振荡电路、本振电路、混频下变频电路和鉴频电路.实验表明该传感器分辨力达到5 nm,并具有较好的线性度.
設計瞭一種單極闆調頻式電容位移傳感器,可實現非接觸微位移測量.其原理為通過雙路差頻方法得到位移-頻率的調製信號,再由乘法器鑒頻得到位移變化量.電路包括測頭及LC振盪電路、本振電路、混頻下變頻電路和鑒頻電路.實驗錶明該傳感器分辨力達到5 nm,併具有較好的線性度.
설계료일충단겁판조빈식전용위이전감기,가실현비접촉미위이측량.기원리위통과쌍로차빈방법득도위이-빈솔적조제신호,재유승법기감빈득도위이변화량.전로포괄측두급LC진탕전로、본진전로、혼빈하변빈전로화감빈전로.실험표명해전감기분변력체도5 nm,병구유교호적선성도.
