光谱学与光谱分析
光譜學與光譜分析
광보학여광보분석
SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS
2012年
5期
1162-1165
,共4页
韩敬华%段涛%高胥华%冯国英%范卫星%杨李茗%刘岩岩%包凌东
韓敬華%段濤%高胥華%馮國英%範衛星%楊李茗%劉巖巖%包凌東
한경화%단도%고서화%풍국영%범위성%양리명%류암암%포릉동
激光等离子体%光学薄膜%光谱%辐射电离%冲击波
激光等離子體%光學薄膜%光譜%輻射電離%遲擊波
격광등리자체%광학박막%광보%복사전리%충격파
高能激光的发展对光学元件的抗损伤能力要求越来越高,其中光学薄膜是最薄弱的环节之一.实验研究了激光的聚焦位置对石英基片上HfO/SiO2减反射薄膜损伤形貌的影响,研究发现:激光等离子体的高压冲击波对薄膜产生强烈的冲击剥离效应,其压强随膨胀半径的增加而迅速减小.激光等离子体光谱的辐射波长小于入射激光波长,这会增强薄膜对辐射光能量的吸收；位于深紫外波段、能量大于HfO2薄膜带隙的光子能量,将被薄膜直接吸收,从而加剧薄膜的电离破坏.激光等离子体的辐射效应和冲击波效应的共同作用决定了薄膜的损伤形貌.当激光聚焦到薄膜表面时,冲击波压强极大会使薄膜发生大面积的电离去除,同时基底发生击穿；当两者距离大到一定距离时,冲击波只会使得中心处小面积薄膜发生剥离,基底未出现断裂.
高能激光的髮展對光學元件的抗損傷能力要求越來越高,其中光學薄膜是最薄弱的環節之一.實驗研究瞭激光的聚焦位置對石英基片上HfO/SiO2減反射薄膜損傷形貌的影響,研究髮現:激光等離子體的高壓遲擊波對薄膜產生彊烈的遲擊剝離效應,其壓彊隨膨脹半徑的增加而迅速減小.激光等離子體光譜的輻射波長小于入射激光波長,這會增彊薄膜對輻射光能量的吸收；位于深紫外波段、能量大于HfO2薄膜帶隙的光子能量,將被薄膜直接吸收,從而加劇薄膜的電離破壞.激光等離子體的輻射效應和遲擊波效應的共同作用決定瞭薄膜的損傷形貌.噹激光聚焦到薄膜錶麵時,遲擊波壓彊極大會使薄膜髮生大麵積的電離去除,同時基底髮生擊穿；噹兩者距離大到一定距離時,遲擊波隻會使得中心處小麵積薄膜髮生剝離,基底未齣現斷裂.
고능격광적발전대광학원건적항손상능력요구월래월고,기중광학박막시최박약적배절지일.실험연구료격광적취초위치대석영기편상HfO/SiO2감반사박막손상형모적영향,연구발현:격광등리자체적고압충격파대박막산생강렬적충격박리효응,기압강수팽창반경적증가이신속감소.격광등리자체광보적복사파장소우입사격광파장,저회증강박막대복사광능량적흡수；위우심자외파단、능량대우HfO2박막대극적광자능량,장피박막직접흡수,종이가극박막적전리파배.격광등리자체적복사효응화충격파효응적공동작용결정료박막적손상형모.당격광취초도박막표면시,충격파압강겁대회사박막발생대면적적전리거제,동시기저발생격천；당량자거리대도일정거리시,충격파지회사득중심처소면적박막발생박리,기저미출현단렬.
