电化学
電化學
전화학
2002年
2期
139-147
,共9页
蒋利民%田中群%刘柱方%毛秉伟%黄海苟%孙建军
蔣利民%田中群%劉柱方%毛秉偉%黃海茍%孫建軍
장이민%전중군%류주방%모병위%황해구%손건군
金属%刻蚀%电化学刻蚀%约束刻蚀剂层技术%微加工
金屬%刻蝕%電化學刻蝕%約束刻蝕劑層技術%微加工
금속%각식%전화학각식%약속각식제층기술%미가공
本文概述了现行的金属微区刻蚀方法并详细地介绍几种电化学刻蚀方法,比较了掩膜法、扫描电化学显微镜法、约束刻蚀剂层法、电化学扫描遂道显微镜法和超短电位脉冲法各自的特点.从加工精度(能否进行微米和纳米级加工)、加工效率(工序复杂程度,能否批量制造或复制)、可用范围(主要是能否加工复杂三维立体结构)等各项因素进行了综合分析,结果表明,各种加工方法各有其优缺点,从总的效果来看,约束刻蚀剂层技术在微加工方面具有较大优势.
本文概述瞭現行的金屬微區刻蝕方法併詳細地介紹幾種電化學刻蝕方法,比較瞭掩膜法、掃描電化學顯微鏡法、約束刻蝕劑層法、電化學掃描遂道顯微鏡法和超短電位脈遲法各自的特點.從加工精度(能否進行微米和納米級加工)、加工效率(工序複雜程度,能否批量製造或複製)、可用範圍(主要是能否加工複雜三維立體結構)等各項因素進行瞭綜閤分析,結果錶明,各種加工方法各有其優缺點,從總的效果來看,約束刻蝕劑層技術在微加工方麵具有較大優勢.
본문개술료현행적금속미구각식방법병상세지개소궤충전화학각식방법,비교료엄막법、소묘전화학현미경법、약속각식제층법、전화학소묘수도현미경법화초단전위맥충법각자적특점.종가공정도(능부진행미미화납미급가공)、가공효솔(공서복잡정도,능부비량제조혹복제)、가용범위(주요시능부가공복잡삼유입체결구)등각항인소진행료종합분석,결과표명,각충가공방법각유기우결점,종총적효과래간,약속각식제층기술재미가공방면구유교대우세.
