微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2003年
1期
27-33
,共7页
张志明%莘海维%戴永兵%孙方宏%汪涛%沈荷生
張誌明%莘海維%戴永兵%孫方宏%汪濤%瀋荷生
장지명%신해유%대영병%손방굉%왕도%침하생
纳米金刚石%薄膜%热丝CVD
納米金剛石%薄膜%熱絲CVD
납미금강석%박막%열사CVD
系统地研究了热丝CVD法中反应气体压力对沉积产物金刚石薄膜的形貌和拉曼谱图的影响,提出了热丝CVD生长纳米金刚石薄膜的新工艺,并在φ50mm硅片上沉积得到高质量的多晶纳米金刚石薄膜.高分辨透射电镜分析表明,薄膜的晶粒尺寸约为10nm,〈111〉晶面间距为0.2086m,与标准值0.2059nm很接近,晶粒周围由非晶结构包围.紫外激光拉曼光谱有尖锐的金刚石峰和明显的石墨峰.
繫統地研究瞭熱絲CVD法中反應氣體壓力對沉積產物金剛石薄膜的形貌和拉曼譜圖的影響,提齣瞭熱絲CVD生長納米金剛石薄膜的新工藝,併在φ50mm硅片上沉積得到高質量的多晶納米金剛石薄膜.高分辨透射電鏡分析錶明,薄膜的晶粒呎吋約為10nm,〈111〉晶麵間距為0.2086m,與標準值0.2059nm很接近,晶粒週圍由非晶結構包圍.紫外激光拉曼光譜有尖銳的金剛石峰和明顯的石墨峰.
계통지연구료열사CVD법중반응기체압력대침적산물금강석박막적형모화랍만보도적영향,제출료열사CVD생장납미금강석박막적신공예,병재φ50mm규편상침적득도고질량적다정납미금강석박막.고분변투사전경분석표명,박막적정립척촌약위10nm,〈111〉정면간거위0.2086m,여표준치0.2059nm흔접근,정립주위유비정결구포위.자외격광랍만광보유첨예적금강석봉화명현적석묵봉.
