真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
1期
80-83
,共4页
崔云康%张晓兵%雷威%肖梅%狄云松%王金婵%毛福明
崔雲康%張曉兵%雷威%肖梅%狄雲鬆%王金嬋%毛福明
최운강%장효병%뢰위%초매%적운송%왕금선%모복명
电真空器件%残余气体%质谱分析%特性
電真空器件%殘餘氣體%質譜分析%特性
전진공기건%잔여기체%질보분석%특성
电真空器件内的残气压强是制管和管子工作过程中管内吸气剂材料吸气后形成的平衡压强,器件击破后质谱分析室本底气体会被吸气剂吸收.因质谱分析室放出的本底气体量一般远小于吸气剂在器件内原吸收的气体量,故器件内的残气压强的新平衡值增量可以忽略,分析室本底不会影响正确的分析结果;大气漏入管内后只表现出该管内惰性气体氩的积累;据此,我们提出了充氩法贮存寿命的快速测试方法.只有吸气剂失效或吸气饱和后管内残气质谱图才反映出漏入的大气成份或分析室本底气体干扰的特征.
電真空器件內的殘氣壓彊是製管和管子工作過程中管內吸氣劑材料吸氣後形成的平衡壓彊,器件擊破後質譜分析室本底氣體會被吸氣劑吸收.因質譜分析室放齣的本底氣體量一般遠小于吸氣劑在器件內原吸收的氣體量,故器件內的殘氣壓彊的新平衡值增量可以忽略,分析室本底不會影響正確的分析結果;大氣漏入管內後隻錶現齣該管內惰性氣體氬的積纍;據此,我們提齣瞭充氬法貯存壽命的快速測試方法.隻有吸氣劑失效或吸氣飽和後管內殘氣質譜圖纔反映齣漏入的大氣成份或分析室本底氣體榦擾的特徵.
전진공기건내적잔기압강시제관화관자공작과정중관내흡기제재료흡기후형성적평형압강,기건격파후질보분석실본저기체회피흡기제흡수.인질보분석실방출적본저기체량일반원소우흡기제재기건내원흡수적기체량,고기건내적잔기압강적신평형치증량가이홀략,분석실본저불회영향정학적분석결과;대기루입관내후지표현출해관내타성기체아적적루;거차,아문제출료충아법저존수명적쾌속측시방법.지유흡기제실효혹흡기포화후관내잔기질보도재반영출루입적대기성빈혹분석실본저기체간우적특정.
