功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2008年
1期
189-192
,共4页
纳米岛%自组装技术%NEMS%纳米加工技术
納米島%自組裝技術%NEMS%納米加工技術
납미도%자조장기술%NEMS%납미가공기술
氯化铯纳米岛光刻技术是一种分子自组装光刻技术,该技术利用氯化铯在一定湿度下的自组装特性来形成具有一定尺寸和分布的原始氯化铯纳米岛结构,通过调整工艺条件可以适度控制氯化铯岛结构的尺寸和覆盖率.氯化铯岛结构的尺寸和覆盖率主要取决于氯化铯薄膜厚度、显影时间和相对湿度,其中膜厚的影响最大.通常在其他条件不变的情况下,薄膜越厚覆盖率越高,而显影时间越长覆盖率则可能越低.在厚度、相对湿度一定的情况下,显影时间较短时,岛结构以小直径为主,随着时间增加,该结构直径分布变得均匀,并且以大直径为主,两者都大致符合高斯分布.
氯化銫納米島光刻技術是一種分子自組裝光刻技術,該技術利用氯化銫在一定濕度下的自組裝特性來形成具有一定呎吋和分佈的原始氯化銫納米島結構,通過調整工藝條件可以適度控製氯化銫島結構的呎吋和覆蓋率.氯化銫島結構的呎吋和覆蓋率主要取決于氯化銫薄膜厚度、顯影時間和相對濕度,其中膜厚的影響最大.通常在其他條件不變的情況下,薄膜越厚覆蓋率越高,而顯影時間越長覆蓋率則可能越低.在厚度、相對濕度一定的情況下,顯影時間較短時,島結構以小直徑為主,隨著時間增加,該結構直徑分佈變得均勻,併且以大直徑為主,兩者都大緻符閤高斯分佈.
록화색납미도광각기술시일충분자자조장광각기술,해기술이용록화색재일정습도하적자조장특성래형성구유일정척촌화분포적원시록화색납미도결구,통과조정공예조건가이괄도공제록화색도결구적척촌화복개솔.록화색도결구적척촌화복개솔주요취결우록화색박막후도、현영시간화상대습도,기중막후적영향최대.통상재기타조건불변적정황하,박막월후복개솔월고,이현영시간월장복개솔칙가능월저.재후도、상대습도일정적정황하,현영시간교단시,도결구이소직경위주,수착시간증가,해결구직경분포변득균균,병차이대직경위주,량자도대치부합고사분포.
