微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2008年
8期
466-469,479
,共5页
微电机系统%压阻%加速度传感器%阻尼%圆片级封装
微電機繫統%壓阻%加速度傳感器%阻尼%圓片級封裝
미전궤계통%압조%가속도전감기%조니%원편급봉장
研究了空气阻尼对MEMS压阻加速度传感器性能的影响,建立了传感器动力学模型和空气阻尼模型,分析了空气间隙大小与传感器阻尼系数的相互关系,通过控制空气间隙可以达到控制加速度传感器阻尼的目的.根据分析结果设计了三明治结构封装的传感器,应用有限元仿真软件,对传感器的应力和应变进行了仿真计算,完成传感器结构参数设计;采用MEMS体硅加工工艺和圆片级封装工艺,制作了MEMS压阻加速度传感器.测试结果表明,采用三明治结构封装形式,可以控制压阻加速度传感器的阻尼特性,为提高传感器性能提供了途径.
研究瞭空氣阻尼對MEMS壓阻加速度傳感器性能的影響,建立瞭傳感器動力學模型和空氣阻尼模型,分析瞭空氣間隙大小與傳感器阻尼繫數的相互關繫,通過控製空氣間隙可以達到控製加速度傳感器阻尼的目的.根據分析結果設計瞭三明治結構封裝的傳感器,應用有限元倣真軟件,對傳感器的應力和應變進行瞭倣真計算,完成傳感器結構參數設計;採用MEMS體硅加工工藝和圓片級封裝工藝,製作瞭MEMS壓阻加速度傳感器.測試結果錶明,採用三明治結構封裝形式,可以控製壓阻加速度傳感器的阻尼特性,為提高傳感器性能提供瞭途徑.
연구료공기조니대MEMS압조가속도전감기성능적영향,건립료전감기동역학모형화공기조니모형,분석료공기간극대소여전감기조니계수적상호관계,통과공제공기간극가이체도공제가속도전감기조니적목적.근거분석결과설계료삼명치결구봉장적전감기,응용유한원방진연건,대전감기적응력화응변진행료방진계산,완성전감기결구삼수설계;채용MEMS체규가공공예화원편급봉장공예,제작료MEMS압조가속도전감기.측시결과표명,채용삼명치결구봉장형식,가이공제압조가속도전감기적조니특성,위제고전감기성능제공료도경.
