光谱学与光谱分析
光譜學與光譜分析
광보학여광보분석
SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS
2009年
1期
268-272
,共5页
陈旺寿%朱嘉琦%韩杰才%田桂%檀满林
陳旺壽%硃嘉琦%韓傑纔%田桂%檀滿林
진왕수%주가기%한걸재%전계%단만림
ta-C%N薄膜%过滤阴极真空电弧沉积(FCVA)%XPS%Raman光谱
ta-C%N薄膜%過濾陰極真空電弧沉積(FCVA)%XPS%Raman光譜
ta-C%N박막%과려음겁진공전호침적(FCVA)%XPS%Raman광보
用过滤阴极真空电弧沉积系统制备掺N非晶金刚石(ta-C:N)薄膜,通过在阴极电弧区和沉积室同时通入N2气实现非晶金刚石薄膜的N原子掺杂,并通过控制N2气流速制备不同N原子含量的ta-C:N薄膜.用X射线光电子能谱(XPS)和Raman光谱分析N含量对ta-C:N薄膜微观结构的影响.XPS分析结果显示:当N2气流速从2 cm3·min-1增加到20 cm3·min-1时,薄膜中N原子含量从0.84 at.%增加到5.37 at.%,同时随薄膜中N原子含量的增加,XPSC(1s)芯能谱峰位呈现单调增加的趋势,XPSC(1s)芯能谱的半高峰宽也随着N含量的增加而逐渐变宽.在Raman光谱中,随N原子含量增加,G峰的位置从1 561.61 cm-1升高到1 578.81 cm-1. XPs C(1s)芯能谱和Raman光谱分析结果表明:随N含量的增加,XPSC(1s)芯能谱中sp2/sp3值和Raman光谱中,ID/IG值均呈上升的趋势,两种结果都说明了随N原子含量增加,薄膜中sP2含量也增加,薄膜结构表现出石墨化倾向.
用過濾陰極真空電弧沉積繫統製備摻N非晶金剛石(ta-C:N)薄膜,通過在陰極電弧區和沉積室同時通入N2氣實現非晶金剛石薄膜的N原子摻雜,併通過控製N2氣流速製備不同N原子含量的ta-C:N薄膜.用X射線光電子能譜(XPS)和Raman光譜分析N含量對ta-C:N薄膜微觀結構的影響.XPS分析結果顯示:噹N2氣流速從2 cm3·min-1增加到20 cm3·min-1時,薄膜中N原子含量從0.84 at.%增加到5.37 at.%,同時隨薄膜中N原子含量的增加,XPSC(1s)芯能譜峰位呈現單調增加的趨勢,XPSC(1s)芯能譜的半高峰寬也隨著N含量的增加而逐漸變寬.在Raman光譜中,隨N原子含量增加,G峰的位置從1 561.61 cm-1升高到1 578.81 cm-1. XPs C(1s)芯能譜和Raman光譜分析結果錶明:隨N含量的增加,XPSC(1s)芯能譜中sp2/sp3值和Raman光譜中,ID/IG值均呈上升的趨勢,兩種結果都說明瞭隨N原子含量增加,薄膜中sP2含量也增加,薄膜結構錶現齣石墨化傾嚮.
용과려음겁진공전호침적계통제비참N비정금강석(ta-C:N)박막,통과재음겁전호구화침적실동시통입N2기실현비정금강석박막적N원자참잡,병통과공제N2기류속제비불동N원자함량적ta-C:N박막.용X사선광전자능보(XPS)화Raman광보분석N함량대ta-C:N박막미관결구적영향.XPS분석결과현시:당N2기류속종2 cm3·min-1증가도20 cm3·min-1시,박막중N원자함량종0.84 at.%증가도5.37 at.%,동시수박막중N원자함량적증가,XPSC(1s)심능보봉위정현단조증가적추세,XPSC(1s)심능보적반고봉관야수착N함량적증가이축점변관.재Raman광보중,수N원자함량증가,G봉적위치종1 561.61 cm-1승고도1 578.81 cm-1. XPs C(1s)심능보화Raman광보분석결과표명:수N함량적증가,XPSC(1s)심능보중sp2/sp3치화Raman광보중,ID/IG치균정상승적추세,량충결과도설명료수N원자함량증가,박막중sP2함량야증가,박막결구표현출석묵화경향.
