生命科学仪器
生命科學儀器
생명과학의기
LIFE SCIENCES INSTRUMENT
2009年
10期
45-48
,共4页
集成电感%可植入式微器件%MEMs%能量耦合%SU-8%电镀
集成電感%可植入式微器件%MEMs%能量耦閤%SU-8%電鍍
집성전감%가식입식미기건%MEMs%능량우합%SU-8%전도
为了能得到植入在生物体内,用于体内微型电子系统与体外设备信号和能量传输的高品质因数Q值和高电感量L值的MEMS电感线圈,本文首先对MEMS电感模型做了理论分析,然后在充分考虑功率传输要求、植入器件体积的限制以及制作工艺的可实现性的情况下,用高精度的3D电磁仿真软件HFSS,对电感的主要参数如圈数N、线宽W、导线间隙S、导线厚度H、导线材料M和衬底电导率σ作了优化设计.最终确定N=10、W=25μm、S=50μm、H=48μm、M为Cu、σ=0.1s/m.数值仿真的结果显示Q=17.6,L=55nH,fQMAX=240MHz,fself=1.2GHz,它们能很好地符合能量传输的功率要求和信号传输的带宽要求.
為瞭能得到植入在生物體內,用于體內微型電子繫統與體外設備信號和能量傳輸的高品質因數Q值和高電感量L值的MEMS電感線圈,本文首先對MEMS電感模型做瞭理論分析,然後在充分攷慮功率傳輸要求、植入器件體積的限製以及製作工藝的可實現性的情況下,用高精度的3D電磁倣真軟件HFSS,對電感的主要參數如圈數N、線寬W、導線間隙S、導線厚度H、導線材料M和襯底電導率σ作瞭優化設計.最終確定N=10、W=25μm、S=50μm、H=48μm、M為Cu、σ=0.1s/m.數值倣真的結果顯示Q=17.6,L=55nH,fQMAX=240MHz,fself=1.2GHz,它們能很好地符閤能量傳輸的功率要求和信號傳輸的帶寬要求.
위료능득도식입재생물체내,용우체내미형전자계통여체외설비신호화능량전수적고품질인수Q치화고전감량L치적MEMS전감선권,본문수선대MEMS전감모형주료이론분석,연후재충분고필공솔전수요구、식입기건체적적한제이급제작공예적가실현성적정황하,용고정도적3D전자방진연건HFSS,대전감적주요삼수여권수N、선관W、도선간극S、도선후도H、도선재료M화츤저전도솔σ작료우화설계.최종학정N=10、W=25μm、S=50μm、H=48μm、M위Cu、σ=0.1s/m.수치방진적결과현시Q=17.6,L=55nH,fQMAX=240MHz,fself=1.2GHz,타문능흔호지부합능량전수적공솔요구화신호전수적대관요구.
