佳木斯大学学报（自然科学版）
佳木斯大學學報（自然科學版）
가목사대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF JIAMUSI UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE EDITION)
2007年
2期
192-195
,共4页
陈城钊%邱胜桦%陈洪财%林璇英
陳城釗%邱勝樺%陳洪財%林璇英
진성쇠%구성화%진홍재%림선영
多晶硅薄膜%氢等离子体加热%Raman谱%FT-IR谱%暗电导率%光学带隙
多晶硅薄膜%氫等離子體加熱%Raman譜%FT-IR譜%暗電導率%光學帶隙
다정규박막%경등리자체가열%Raman보%FT-IR보%암전도솔%광학대극
采用氢等离子体加热的方法晶化a-Si:H薄膜制备多晶硅薄膜,用Raman散射谱和傅里叶变换红外吸收谱(FT-IR)等方法进行表征和分析.研究了退火的射频功率、衬底温度和退火时间对薄膜微结构和光电性能的影响.结果表明,薄膜的氢含量是影响薄膜光学带隙的主要因素,而薄膜的结晶度是影响薄膜暗电导率的主要因素.
採用氫等離子體加熱的方法晶化a-Si:H薄膜製備多晶硅薄膜,用Raman散射譜和傅裏葉變換紅外吸收譜(FT-IR)等方法進行錶徵和分析.研究瞭退火的射頻功率、襯底溫度和退火時間對薄膜微結構和光電性能的影響.結果錶明,薄膜的氫含量是影響薄膜光學帶隙的主要因素,而薄膜的結晶度是影響薄膜暗電導率的主要因素.
채용경등리자체가열적방법정화a-Si:H박막제비다정규박막,용Raman산사보화부리협변환홍외흡수보(FT-IR)등방법진행표정화분석.연구료퇴화적사빈공솔、츤저온도화퇴화시간대박막미결구화광전성능적영향.결과표명,박막적경함량시영향박막광학대극적주요인소,이박막적결정도시영향박막암전도솔적주요인소.
