光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2007年
6期
1044-1048
,共5页
光学器件%偏光干涉量度学%石英波片%双折射率色散%延迟量%厚度测量
光學器件%偏光榦涉量度學%石英波片%雙摺射率色散%延遲量%厚度測量
광학기건%편광간섭량도학%석영파편%쌍절사솔색산%연지량%후도측량
根据石英晶体双折射率的色散特性,对石英波片的偏光干涉谱进行了理论分析和数值模拟,提出了一种石英波片延迟量和厚度的偏光干涉标定法.即由偏光干涉谱,可以得出石英波片在200～2000 nm宽光谱范围内的延迟量;通过对长波段的偏光干涉谱极值波长的精确判断,可以准确地计算出该石英波片的厚度.利用Lambda 900紫外-可见-近红外分光光度计对一片石英波片的偏光干涉谱进行了测量.在波长精度为0.1 nm的情况下,测量的厚度精度为0.1 μm.误差分析结果表明,通过提高光谱的最小分辨力及选择较长的光谱波段进行测量计算,可以有效地降低误差.
根據石英晶體雙摺射率的色散特性,對石英波片的偏光榦涉譜進行瞭理論分析和數值模擬,提齣瞭一種石英波片延遲量和厚度的偏光榦涉標定法.即由偏光榦涉譜,可以得齣石英波片在200～2000 nm寬光譜範圍內的延遲量;通過對長波段的偏光榦涉譜極值波長的精確判斷,可以準確地計算齣該石英波片的厚度.利用Lambda 900紫外-可見-近紅外分光光度計對一片石英波片的偏光榦涉譜進行瞭測量.在波長精度為0.1 nm的情況下,測量的厚度精度為0.1 μm.誤差分析結果錶明,通過提高光譜的最小分辨力及選擇較長的光譜波段進行測量計算,可以有效地降低誤差.
근거석영정체쌍절사솔적색산특성,대석영파편적편광간섭보진행료이론분석화수치모의,제출료일충석영파편연지량화후도적편광간섭표정법.즉유편광간섭보,가이득출석영파편재200～2000 nm관광보범위내적연지량;통과대장파단적편광간섭보겁치파장적정학판단,가이준학지계산출해석영파편적후도.이용Lambda 900자외-가견-근홍외분광광도계대일편석영파편적편광간섭보진행료측량.재파장정도위0.1 nm적정황하,측량적후도정도위0.1 μm.오차분석결과표명,통과제고광보적최소분변력급선택교장적광보파단진행측량계산,가이유효지강저오차.
