中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2008年
2期
245-248
,共4页
关宝璐%郭霞%顾晓玲%杨浩%邓军%高国%沈光地
關寶璐%郭霞%顧曉玲%楊浩%鄧軍%高國%瀋光地
관보로%곽하%고효령%양호%산군%고국%침광지
光学器件%可调谐微腔光子器件%微光机电系统%悬臂梁%有限元
光學器件%可調諧微腔光子器件%微光機電繫統%懸臂樑%有限元
광학기건%가조해미강광자기건%미광궤전계통%현비량%유한원
采用微机械表面加工技术,成功设计并研制出具有GaAs基微光机电系统(MOEMS)悬臂梁结构的可调谐微腔发光二极管.对其工作特性进行了分析,测量得到悬臂梁载荷-位移关系曲线,并对微光机电系统悬臂梁可调谐微腔发光二极管进行调谐光谱测量.实验结果表明,在直流电流40 mA,调谐电压范围4～22 V时,波长从974.5 nm蓝移至956.9 nm,室温下波长调谐最大达到17.6 nm.在实验基础上,采用有限元方法对具有分布布拉格反射镜(DBR)结构的悬臂梁动力学特性进行了研究,模拟结果与实验结果吻合较好.当悬臂梁长度为400 μm时,最大位移达到411 nm,最大调谐电压达到24 V.
採用微機械錶麵加工技術,成功設計併研製齣具有GaAs基微光機電繫統(MOEMS)懸臂樑結構的可調諧微腔髮光二極管.對其工作特性進行瞭分析,測量得到懸臂樑載荷-位移關繫麯線,併對微光機電繫統懸臂樑可調諧微腔髮光二極管進行調諧光譜測量.實驗結果錶明,在直流電流40 mA,調諧電壓範圍4～22 V時,波長從974.5 nm藍移至956.9 nm,室溫下波長調諧最大達到17.6 nm.在實驗基礎上,採用有限元方法對具有分佈佈拉格反射鏡(DBR)結構的懸臂樑動力學特性進行瞭研究,模擬結果與實驗結果吻閤較好.噹懸臂樑長度為400 μm時,最大位移達到411 nm,最大調諧電壓達到24 V.
채용미궤계표면가공기술,성공설계병연제출구유GaAs기미광궤전계통(MOEMS)현비량결구적가조해미강발광이겁관.대기공작특성진행료분석,측량득도현비량재하-위이관계곡선,병대미광궤전계통현비량가조해미강발광이겁관진행조해광보측량.실험결과표명,재직류전류40 mA,조해전압범위4～22 V시,파장종974.5 nm람이지956.9 nm,실온하파장조해최대체도17.6 nm.재실험기출상,채용유한원방법대구유분포포랍격반사경(DBR)결구적현비량동역학특성진행료연구,모의결과여실험결과문합교호.당현비량장도위400 μm시,최대위이체도411 nm,최대조해전압체도24 V.
