应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2011年
5期
867-871
,共5页
周庚侠%班书宝%孙天玉%顾济华%吴东岷
週庚俠%班書寶%孫天玉%顧濟華%吳東岷
주경협%반서보%손천옥%고제화%오동민
微立体光刻%分辨率%树脂化学响应%临界调制传递函数
微立體光刻%分辨率%樹脂化學響應%臨界調製傳遞函數
미입체광각%분변솔%수지화학향응%림계조제전체함수
基于数字微反射镜的动态掩膜面投影微立体光刻技术是一种基于快速原型制造思想的新型微细结构加工手段,其系统中常用树脂槽和涂覆装置使得其无法适用于粘度大的固化材料.为实现粘度大的复合纳米材料的固化制造,构建了新型的基于数字微反射镜技术的动态掩膜微立体光刻系统,该系统的加工横向分辨率由系统的光学分辨率与树脂特性共同决定.当单层树脂固化厚度超过临界值时,系统的横向分辨率将降低.根据实验中测量光学系统的分辨率以及树脂的工作曲线,得到本系统的最高横向分辨率可以达到14 μm.
基于數字微反射鏡的動態掩膜麵投影微立體光刻技術是一種基于快速原型製造思想的新型微細結構加工手段,其繫統中常用樹脂槽和塗覆裝置使得其無法適用于粘度大的固化材料.為實現粘度大的複閤納米材料的固化製造,構建瞭新型的基于數字微反射鏡技術的動態掩膜微立體光刻繫統,該繫統的加工橫嚮分辨率由繫統的光學分辨率與樹脂特性共同決定.噹單層樹脂固化厚度超過臨界值時,繫統的橫嚮分辨率將降低.根據實驗中測量光學繫統的分辨率以及樹脂的工作麯線,得到本繫統的最高橫嚮分辨率可以達到14 μm.
기우수자미반사경적동태엄막면투영미입체광각기술시일충기우쾌속원형제조사상적신형미세결구가공수단,기계통중상용수지조화도복장치사득기무법괄용우점도대적고화재료.위실현점도대적복합납미재료적고화제조,구건료신형적기우수자미반사경기술적동태엄막미입체광각계통,해계통적가공횡향분변솔유계통적광학분변솔여수지특성공동결정.당단층수지고화후도초과림계치시,계통적횡향분변솔장강저.근거실험중측량광학계통적분변솔이급수지적공작곡선,득도본계통적최고횡향분변솔가이체도14 μm.
