传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2010年
12期
15-18
,共4页
湿敏元件%等效电路模型%复阻抗图%Q元件
濕敏元件%等效電路模型%複阻抗圖%Q元件
습민원건%등효전로모형%복조항도%Q원건
对基于石英玻璃基底制备的TiO2-20%SnO2薄膜湿敏元件进行复阻抗分析,采用Origin7.5软件绘出不同湿度下的复阻抗图.在Zsimpwin软件环境下,利用3种不同的等效电路模型对该湿敏元件的复阻抗图进行拟合和误差分析比较.研究表明:引入Q元件的等效电路模型是合理的,该等效电路模型便于对薄膜离子的扩散与感湿机理进行分析.
對基于石英玻璃基底製備的TiO2-20%SnO2薄膜濕敏元件進行複阻抗分析,採用Origin7.5軟件繪齣不同濕度下的複阻抗圖.在Zsimpwin軟件環境下,利用3種不同的等效電路模型對該濕敏元件的複阻抗圖進行擬閤和誤差分析比較.研究錶明:引入Q元件的等效電路模型是閤理的,該等效電路模型便于對薄膜離子的擴散與感濕機理進行分析.
대기우석영파리기저제비적TiO2-20%SnO2박막습민원건진행복조항분석,채용Origin7.5연건회출불동습도하적복조항도.재Zsimpwin연건배경하,이용3충불동적등효전로모형대해습민원건적복조항도진행의합화오차분석비교.연구표명:인입Q원건적등효전로모형시합리적,해등효전로모형편우대박막리자적확산여감습궤리진행분석.
