微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2001年
2期
53-56
,共4页
EDS%微分析%准确度%接收角
EDS%微分析%準確度%接收角
EDS%미분석%준학도%접수각
利用扫描电镜上安装的X线能谱仪,研究样品的微区法向不能准确确定时对定量分析结果准确性产生的影响程度,提出了一种确定样品微区法向的方法.实验表明该法有利于定量分析准确度的提高.
利用掃描電鏡上安裝的X線能譜儀,研究樣品的微區法嚮不能準確確定時對定量分析結果準確性產生的影響程度,提齣瞭一種確定樣品微區法嚮的方法.實驗錶明該法有利于定量分析準確度的提高.
이용소묘전경상안장적X선능보의,연구양품적미구법향불능준학학정시대정량분석결과준학성산생적영향정도,제출료일충학정양품미구법향적방법.실험표명해법유리우정량분석준학도적제고.
