真空与低温
真空與低溫
진공여저온
VACUUM AND CRYOGENICS
2008年
1期
27-31
,共5页
赵栋才%肖更竭%任妮%马占吉%武生虎
趙棟纔%肖更竭%任妮%馬佔吉%武生虎
조동재%초경갈%임니%마점길%무생호
类金刚石膜%掺钛%应力%硬度
類金剛石膜%摻鈦%應力%硬度
류금강석막%참태%응력%경도
利用脉冲电弧离子镀技术制备了一系列钛含量不同的类金刚石薄膜.对样品研究发现:随着钛含量的增加(原子百分比小于5.3%),薄膜的硬度和应力都开始下降,且应力的下降幅度大于硬度下降幅度;但当钛含量继续增大时(原子百分比在5.3%和18.0%之间),薄膜的硬度继续保持下降,但薄膜的应力基本保持不变.摩擦系数在钛原子百分比含量小于6.3%时,保持不变,随着钛含量的继续增大,摩擦系数缓慢增加,但当钛含量到达一定值后,其磨损量增加,摩擦系数开始变的不稳定.
利用脈遲電弧離子鍍技術製備瞭一繫列鈦含量不同的類金剛石薄膜.對樣品研究髮現:隨著鈦含量的增加(原子百分比小于5.3%),薄膜的硬度和應力都開始下降,且應力的下降幅度大于硬度下降幅度;但噹鈦含量繼續增大時(原子百分比在5.3%和18.0%之間),薄膜的硬度繼續保持下降,但薄膜的應力基本保持不變.摩抆繫數在鈦原子百分比含量小于6.3%時,保持不變,隨著鈦含量的繼續增大,摩抆繫數緩慢增加,但噹鈦含量到達一定值後,其磨損量增加,摩抆繫數開始變的不穩定.
이용맥충전호리자도기술제비료일계렬태함량불동적류금강석박막.대양품연구발현:수착태함량적증가(원자백분비소우5.3%),박막적경도화응력도개시하강,차응력적하강폭도대우경도하강폭도;단당태함량계속증대시(원자백분비재5.3%화18.0%지간),박막적경도계속보지하강,단박막적응력기본보지불변.마찰계수재태원자백분비함량소우6.3%시,보지불변,수착태함량적계속증대,마찰계수완만증가,단당태함량도체일정치후,기마손량증가,마찰계수개시변적불은정.
