微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2009年
3期
174-180,185
,共8页
闫永达%尹大勇%孙涛%费维栋%董申
閆永達%尹大勇%孫濤%費維棟%董申
염영체%윤대용%손도%비유동%동신
扫描探针显微镜%微悬臂%弹性常数%校准%动态测量%静态测量
掃描探針顯微鏡%微懸臂%彈性常數%校準%動態測量%靜態測量
소묘탐침현미경%미현비%탄성상수%교준%동태측량%정태측량
综述了扫描探针显微镜(SPM)的微悬臂梁弹性常数Kn的校准方法,主要包括物理尺寸法、动态测量法和静态测量法.物理尺寸法计算方便,可给出任何方向、任意形状的弹性常数表达式,但测量精度不高,适用于精度要求不高的场合;动态测量方法适用于任意形状悬臂,校准技过程简单快捷,不易损坏悬臂;静态测量法采用外加设备如标准悬臂或者标准加压设备,操作过程麻烦,易损坏悬臂.但动态和静态测量法的精度较高,因此适用于要求提供精确力信号的场合.目前,静态测量法中采用标准弹簧校准的测量精度可达2%～5%,校准过程方便快捷,具有一定的发展潜力.
綜述瞭掃描探針顯微鏡(SPM)的微懸臂樑彈性常數Kn的校準方法,主要包括物理呎吋法、動態測量法和靜態測量法.物理呎吋法計算方便,可給齣任何方嚮、任意形狀的彈性常數錶達式,但測量精度不高,適用于精度要求不高的場閤;動態測量方法適用于任意形狀懸臂,校準技過程簡單快捷,不易損壞懸臂;靜態測量法採用外加設備如標準懸臂或者標準加壓設備,操作過程痳煩,易損壞懸臂.但動態和靜態測量法的精度較高,因此適用于要求提供精確力信號的場閤.目前,靜態測量法中採用標準彈簧校準的測量精度可達2%～5%,校準過程方便快捷,具有一定的髮展潛力.
종술료소묘탐침현미경(SPM)적미현비량탄성상수Kn적교준방법,주요포괄물리척촌법、동태측량법화정태측량법.물리척촌법계산방편,가급출임하방향、임의형상적탄성상수표체식,단측량정도불고,괄용우정도요구불고적장합;동태측량방법괄용우임의형상현비,교준기과정간단쾌첩,불역손배현비;정태측량법채용외가설비여표준현비혹자표준가압설비,조작과정마번,역손배현비.단동태화정태측량법적정도교고,인차괄용우요구제공정학력신호적장합.목전,정태측량법중채용표준탄황교준적측량정도가체2%～5%,교준과정방편쾌첩,구유일정적발전잠력.
