华中师范大学学报（自然科学版）
華中師範大學學報（自然科學版）
화중사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CENTRAL CHINA NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES)
2009年
3期
413-415
,共3页
郭继花%黄致新%崔增丽%杨磊%邵剑波
郭繼花%黃緻新%崔增麗%楊磊%邵劍波
곽계화%황치신%최증려%양뢰%소검파
射频磁控溅射%GdTbFeCo%磁光性能%溅射功率
射頻磁控濺射%GdTbFeCo%磁光性能%濺射功率
사빈자공천사%GdTbFeCo%자광성능%천사공솔
采用射频磁控溅射法在玻璃基片上成功制得了GdTbFeCo非晶垂直磁化膜,研究了溅射功率对GdTbFeCo薄膜磁光性能的影响.测量结果表明:基片与靶间距为72 mm溅射功率为75 W,溅射气压为0.5 Pa,薄膜厚度为120 12m时,GdTbFeCo薄膜垂直方向矫顾力达到5966 Oe,克尔角为0.413 °.
採用射頻磁控濺射法在玻璃基片上成功製得瞭GdTbFeCo非晶垂直磁化膜,研究瞭濺射功率對GdTbFeCo薄膜磁光性能的影響.測量結果錶明:基片與靶間距為72 mm濺射功率為75 W,濺射氣壓為0.5 Pa,薄膜厚度為120 12m時,GdTbFeCo薄膜垂直方嚮矯顧力達到5966 Oe,剋爾角為0.413 °.
채용사빈자공천사법재파리기편상성공제득료GdTbFeCo비정수직자화막,연구료천사공솔대GdTbFeCo박막자광성능적영향.측량결과표명:기편여파간거위72 mm천사공솔위75 W,천사기압위0.5 Pa,박막후도위120 12m시,GdTbFeCo박막수직방향교고력체도5966 Oe,극이각위0.413 °.
