界面层对激光减反膜的影响研究
계면층대격광감반막적영향연구
Influence of interface layer on antireflection coating for laser optics
  • 万方数据
    红外与激光工程 홍외여격광공정
    INFRARED AND LASER ENGINEERING
    2011年 10期 2003-2007,2027 ,共6页

    季一勤%刘华松%王占山%陈德应%樊荣伟%姜玉刚%洪伟%刘丹丹%吴志新%王日

    계일근%류화송%왕점산%진덕응%번영위%강옥강%홍위%류단단%오지신%왕일

    激光减反膜%界面层%表面粗糙度%修正设计 激光減反膜%界麵層%錶麵粗糙度%脩正設計
    격광감반막%계면층%표면조조도%수정설계
    激光技术的发展对减反膜提出了超高透过率的要求,基板的表面特征在高精度减反膜的设计与制造中不可忽略.选择熔融石英为基板,Ta2O5和SiO2为高低折射率膜层材料,针对在0 °入射角下工作的532 nm激光减反膜进行设计与分析,得到膜层内的电场分布.在模拟计算中将基板的表面粗糙度等效为等比例混合膜,计算分析了理想设计条件下不同厚度界面层的Ⅴ型减反膜,得到透过率与界面粗糙度的数值函数关系,最后利用数值优化的方法对理想设计进行修正,得到了存在界面层的减反膜修正结果,研究结果有助于实现超高透过率短波长激光减反膜的设计与制备.
    격광기술적발전대감반막제출료초고투과솔적요구,기판적표면특정재고정도감반막적설계여제조중불가홀략.선택용융석영위기판,Ta2O5화SiO2위고저절사솔막층재료,침대재0 °입사각하공작적532 nm격광감반막진행설계여분석,득도막층내적전장분포.재모의계산중장기판적표면조조도등효위등비례혼합막,계산분석료이상설계조건하불동후도계면층적Ⅴ형감반막,득도투과솔여계면조조도적수치함수관계,최후이용수치우화적방법대이상설계진행수정,득도료존재계면층적감반막수정결과,연구결과유조우실현초고투과솔단파장격광감반막적설계여제비.
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