微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2011年
10期
655-659
,共5页
高杨%贾小慧%秦燃%官承秋
高楊%賈小慧%秦燃%官承鞦
고양%가소혜%진연%관승추
射频微电子机械系统(RF MEMS)%移相器%传输线%微开关%微桥
射頻微電子機械繫統(RF MEMS)%移相器%傳輸線%微開關%微橋
사빈미전자궤계계통(RF MEMS)%이상기%전수선%미개관%미교
通过在共面波导传输线上周期性地加载分布电容,外加驱动电压改变电容值,实现分布式MEMS传输线移相器.从三个方面优化了五位分布式MEMS传输线移相器的设计:一是分别设计了11.25°和22.5°两种微桥,单元在Ka波段的插入损耗均大于-0.8 dB,回波损耗均小于-15 dB,相移精度小于0.4°,新的五位移相器以2种单元、19个微桥的结构替代了传统单一单元、31个微桥的结构,可减少微桥的总数;二是CPW传输线采用折叠布局,通过共用部分地线,移相器平面尺寸减小至1.81 mm×3.84 mm,相比传统五位分布式移相器,面积减小了56％,实现了器件的小型化;三是设计了一种新型的直流偏置结构,结构简单、工艺容易实现.
通過在共麵波導傳輸線上週期性地加載分佈電容,外加驅動電壓改變電容值,實現分佈式MEMS傳輸線移相器.從三箇方麵優化瞭五位分佈式MEMS傳輸線移相器的設計:一是分彆設計瞭11.25°和22.5°兩種微橋,單元在Ka波段的插入損耗均大于-0.8 dB,迴波損耗均小于-15 dB,相移精度小于0.4°,新的五位移相器以2種單元、19箇微橋的結構替代瞭傳統單一單元、31箇微橋的結構,可減少微橋的總數;二是CPW傳輸線採用摺疊佈跼,通過共用部分地線,移相器平麵呎吋減小至1.81 mm×3.84 mm,相比傳統五位分佈式移相器,麵積減小瞭56％,實現瞭器件的小型化;三是設計瞭一種新型的直流偏置結構,結構簡單、工藝容易實現.
통과재공면파도전수선상주기성지가재분포전용,외가구동전압개변전용치,실현분포식MEMS전수선이상기.종삼개방면우화료오위분포식MEMS전수선이상기적설계:일시분별설계료11.25°화22.5°량충미교,단원재Ka파단적삽입손모균대우-0.8 dB,회파손모균소우-15 dB,상이정도소우0.4°,신적오위이상기이2충단원、19개미교적결구체대료전통단일단원、31개미교적결구,가감소미교적총수;이시CPW전수선채용절첩포국,통과공용부분지선,이상기평면척촌감소지1.81 mm×3.84 mm,상비전통오위분포식이상기,면적감소료56％,실현료기건적소형화;삼시설계료일충신형적직류편치결구,결구간단、공예용역실현.
