CAJ | 학술논문

为了探究激光预辐照的工艺参数对提高光学薄膜抗激光损伤性能的影响,在1064nm的Nd∶YAG激光器组成的薄膜阈值测试平台上,对电子束热蒸发镀制的ZrO2单层薄膜进行了小光斑扫描的激光预处理.研究了不同能量阶单次扫描、单一能量阶多次扫描及不同能量阶多次扫描的激光预辐照对薄膜损伤阈值的提高效果.结果表明:不同能量阶单次扫描中,提高阈值效果最好的是采用原始样片损伤阈值的39％的能量扫描,可提高阈值13％;采用39％的阈值能量阶进行了多次预辐照实验,扫描3次效果最好,阈值提高了56％;在能量递增的多次预辐照实验中,递增能量多次预辐照与单一能量阶多次预辐照的预处理效果相似..
위료탐구격광예복조적공예삼수대제고광학박막항격광손상성능적영향,재1064nm적Nd∶YAG격광기조성적박막역치측시평태상,대전자속열증발도제적ZrO2단층박막진행료소광반소묘적격광예처리.연구료불동능량계단차소묘、단일능량계다차소묘급불동능량계다차소묘적격광예복조대박막손상역치적제고효과.결과표명:불동능량계단차소묘중,제고역치효과최호적시채용원시양편손상역치적39％적능량소묘,가제고역치13％;채용39％적역치능량계진행료다차예복조실험,소묘3차효과최호,역치제고료56％;재능량체증적다차예복조실험중,체증능량다차예복조여단일능량계다차예복조적예처리효과상사..