光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2004年
11期
1459-1462
,共4页
朋兴平%杨映虎%宋长安%王印月
朋興平%楊映虎%宋長安%王印月
붕흥평%양영호%송장안%왕인월
薄膜光学%ZnO薄膜%In掺杂%光致发光谱%射频反应溅射
薄膜光學%ZnO薄膜%In摻雜%光緻髮光譜%射頻反應濺射
박막광학%ZnO박막%In참잡%광치발광보%사빈반응천사
采用射频反应溅射技术在硅(100)衬底上制备了未掺杂和掺In的ZnO薄膜.掠角X射线衍射测试表明,实验中制备的掺In样品为ZnO薄膜.用X射线衍射仪、原子力显微镜和荧光分光光度计分别对两样品的结构、表面形貌和光致发光特性进行了表征,分析了In掺杂对ZnO薄膜的结构和发光特性的影响.与未掺杂ZnO薄膜相比,掺In ZnO薄膜具有高度的C轴择优取向,同时样品的晶格失配较小,与标准ZnO粉末样品之间的晶格失配仅为0.16%;掺In ZnO薄膜表面平滑,表面最大不平整度为7 nm.在掺In样品的光致发光谱中观察到了波长位于415 nm和433 nm处强的蓝紫光双峰,对掺In样品的蓝紫双峰的发光机理进行了讨论,并推测出该蓝紫双峰来源于In替位杂质和Zn填隙杂质缺陷.
採用射頻反應濺射技術在硅(100)襯底上製備瞭未摻雜和摻In的ZnO薄膜.掠角X射線衍射測試錶明,實驗中製備的摻In樣品為ZnO薄膜.用X射線衍射儀、原子力顯微鏡和熒光分光光度計分彆對兩樣品的結構、錶麵形貌和光緻髮光特性進行瞭錶徵,分析瞭In摻雜對ZnO薄膜的結構和髮光特性的影響.與未摻雜ZnO薄膜相比,摻In ZnO薄膜具有高度的C軸擇優取嚮,同時樣品的晶格失配較小,與標準ZnO粉末樣品之間的晶格失配僅為0.16%;摻In ZnO薄膜錶麵平滑,錶麵最大不平整度為7 nm.在摻In樣品的光緻髮光譜中觀察到瞭波長位于415 nm和433 nm處彊的藍紫光雙峰,對摻In樣品的藍紫雙峰的髮光機理進行瞭討論,併推測齣該藍紫雙峰來源于In替位雜質和Zn填隙雜質缺陷.
채용사빈반응천사기술재규(100)츤저상제비료미참잡화참In적ZnO박막.략각X사선연사측시표명,실험중제비적참In양품위ZnO박막.용X사선연사의、원자력현미경화형광분광광도계분별대량양품적결구、표면형모화광치발광특성진행료표정,분석료In참잡대ZnO박막적결구화발광특성적영향.여미참잡ZnO박막상비,참In ZnO박막구유고도적C축택우취향,동시양품적정격실배교소,여표준ZnO분말양품지간적정격실배부위0.16%;참In ZnO박막표면평활,표면최대불평정도위7 nm.재참In양품적광치발광보중관찰도료파장위우415 nm화433 nm처강적람자광쌍봉,대참In양품적람자쌍봉적발광궤리진행료토론,병추측출해람자쌍봉래원우In체위잡질화Zn전극잡질결함.
