清华大学学报（自然科学版）
清華大學學報（自然科學版）
청화대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TSINGHUA UNIVERSITY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
2期
201-204
,共4页
电容式微加速度计%微机电系统%闭环系统%检测盲区%零偏%零偏重复性
電容式微加速度計%微機電繫統%閉環繫統%檢測盲區%零偏%零偏重複性
전용식미가속도계%미궤전계통%폐배계통%검측맹구%령편%령편중복성
为解释电容式微加速度计闭环系统零点不惟一的特殊现象,对其力学模型和电路特性进行理论分析,推导了闭环输出、零偏、零偏重复性、检测盲区宽度等公式,建立新的静平衡模型.通过零偏与预载的关系实验,定量分析了零偏不重合度、零偏重复性等,并对实验数据进行误差分析.该静平衡模型揭示了动齿的运动规律,证明检测盲区宽度和零偏重复性成正比,成功解释了两个零点问题.指出提高零偏重复性指标的方法,对于微机械结构的设计、预载的选择也具有指导意义.
為解釋電容式微加速度計閉環繫統零點不惟一的特殊現象,對其力學模型和電路特性進行理論分析,推導瞭閉環輸齣、零偏、零偏重複性、檢測盲區寬度等公式,建立新的靜平衡模型.通過零偏與預載的關繫實驗,定量分析瞭零偏不重閤度、零偏重複性等,併對實驗數據進行誤差分析.該靜平衡模型揭示瞭動齒的運動規律,證明檢測盲區寬度和零偏重複性成正比,成功解釋瞭兩箇零點問題.指齣提高零偏重複性指標的方法,對于微機械結構的設計、預載的選擇也具有指導意義.
위해석전용식미가속도계폐배계통영점불유일적특수현상,대기역학모형화전로특성진행이론분석,추도료폐배수출、령편、령편중복성、검측맹구관도등공식,건립신적정평형모형.통과령편여예재적관계실험,정량분석료령편불중합도、령편중복성등,병대실험수거진행오차분석.해정평형모형게시료동치적운동규률,증명검측맹구관도화령편중복성성정비,성공해석료량개영점문제.지출제고령편중복성지표적방법,대우미궤계결구적설계、예재적선택야구유지도의의.
