光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2005年
4期
525-528
,共4页
左玉华%毛容伟%王良臣%余金中%王启明
左玉華%毛容偉%王良臣%餘金中%王啟明
좌옥화%모용위%왕량신%여금중%왕계명
MOEMS%可调谐滤波器%Fabry-Perot%表面微机械
MOEMS%可調諧濾波器%Fabry-Perot%錶麵微機械
MOEMS%가조해려파기%Fabry-Perot%표면미궤계
建立了等效单层梁模型和一维集总模型,用经典力学理论和传输矩阵方法模拟了多层材料构成且具有四臂固支梁结构的1.55μm Si基MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechnical-Systems)可调谐滤波器的调谐特性.模拟调谐系数与实验结果吻合较好.
建立瞭等效單層樑模型和一維集總模型,用經典力學理論和傳輸矩陣方法模擬瞭多層材料構成且具有四臂固支樑結構的1.55μm Si基MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechnical-Systems)可調諧濾波器的調諧特性.模擬調諧繫數與實驗結果吻閤較好.
건립료등효단층량모형화일유집총모형,용경전역학이론화전수구진방법모의료다층재료구성차구유사비고지량결구적1.55μm Si기MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechnical-Systems)가조해려파기적조해특성.모의조해계수여실험결과문합교호.
