微/纳米多层金刚石自支撑膜的制备及生长特性的研究
미/납미다층금강석자지탱막적제비급생장특성적연구
Deposition of Microcrystalline/Nanocrystalline Multilayered Free-standing Diamond Film and Investigation of Growth Peculiarities
  • 万方数据
    人工晶体学报 인공정체학보

    2007年 1期 166-169 ,共4页

    兰昊%陈广超%戴风伟%李彬%唐伟忠%李成明%宋建华%J.Askari%黑立富%佟玉梅

    란호%진엄초%대풍위%리빈%당위충%리성명%송건화%J.Askari%흑립부%동옥매

    直流电弧等离子喷射化学气相沉积%自支撑金刚石膜%多层结构%内应力%生长速率 直流電弧等離子噴射化學氣相沉積%自支撐金剛石膜%多層結構%內應力%生長速率
    직류전호등리자분사화학기상침적%자지탱금강석막%다층결구%내응력%생장속솔
    在30kW级直流电弧等离子喷射化学气相沉积装置下,采用Ar-H2-CH4混合气体,通过控制工艺参数,在钼衬底上分别制备了普通微米自支撑膜及多层金刚石自支撑膜并对其进行研究.结果显示,同普通微米膜相比,多层膜体是由微米晶金刚石层和纳米晶金刚石层组成,表面光滑,微米层与纳米层间具有相互嵌套式的界面;多层膜中各层膜体的内应力沿生长方向有明显变化,出现一个从压应力到拉应力变化的过程;在沉积过程中,随着层数变化,膜体的生长速率也发生相应的变化.
    재30kW급직류전호등리자분사화학기상침적장치하,채용Ar-H2-CH4혼합기체,통과공제공예삼수,재목츤저상분별제비료보통미미자지탱막급다층금강석자지탱막병대기진행연구.결과현시,동보통미미막상비,다층막체시유미미정금강석층화납미정금강석층조성,표면광활,미미층여납미층간구유상호감투식적계면;다층막중각층막체적내응력연생장방향유명현변화,출현일개종압응력도랍응력변화적과정;재침적과정중,수착층수변화,막체적생장속솔야발생상응적변화.
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