中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2009年
6期
1539-1544
,共6页
陈江博%王丽%苏雪琼%刘红梅%王荣平
陳江博%王麗%囌雪瓊%劉紅梅%王榮平
진강박%왕려%소설경%류홍매%왕영평
材料%ZnO薄膜%脉冲激光沉积%表面形貌%光致发光%透射光谱
材料%ZnO薄膜%脈遲激光沉積%錶麵形貌%光緻髮光%透射光譜
재료%ZnO박막%맥충격광침적%표면형모%광치발광%투사광보
本文基于脉冲激光沉积(PLD)方法,利用光谱物理GCR-170型脉冲激光器Nd:YAG的三次谐波,实验上完成了在Al2O3(0001)基片上生长了ZnO薄膜.利用原子力显微镜(AFM)、光致发光(PL)谱和光学透射谱对不同基片温度下沉积的ZnO薄膜的表面形貌和光学特性进行研究.结果表明,沉积时的基片温度对ZnO薄膜的结构和特性有显著影响.在基片温度为500℃时沉积的ZnO薄膜结构致密均匀,并表现出很强的紫外发射.通过紫外一可见透射光谱的测量,讨论了沉积时的基片温度对ZnO薄膜光学透射率的影响.
本文基于脈遲激光沉積(PLD)方法,利用光譜物理GCR-170型脈遲激光器Nd:YAG的三次諧波,實驗上完成瞭在Al2O3(0001)基片上生長瞭ZnO薄膜.利用原子力顯微鏡(AFM)、光緻髮光(PL)譜和光學透射譜對不同基片溫度下沉積的ZnO薄膜的錶麵形貌和光學特性進行研究.結果錶明,沉積時的基片溫度對ZnO薄膜的結構和特性有顯著影響.在基片溫度為500℃時沉積的ZnO薄膜結構緻密均勻,併錶現齣很彊的紫外髮射.通過紫外一可見透射光譜的測量,討論瞭沉積時的基片溫度對ZnO薄膜光學透射率的影響.
본문기우맥충격광침적(PLD)방법,이용광보물리GCR-170형맥충격광기Nd:YAG적삼차해파,실험상완성료재Al2O3(0001)기편상생장료ZnO박막.이용원자력현미경(AFM)、광치발광(PL)보화광학투사보대불동기편온도하침적적ZnO박막적표면형모화광학특성진행연구.결과표명,침적시적기편온도대ZnO박막적결구화특성유현저영향.재기편온도위500℃시침적적ZnO박막결구치밀균균,병표현출흔강적자외발사.통과자외일가견투사광보적측량,토론료침적시적기편온도대ZnO박막광학투사솔적영향.
