硬质薄膜研究综述
경질박막연구종술
The Research Status and Prospect of Carbide Films
  • 万方数据
    宁波教育学院学报 저파교육학원학보
    JOURNAL OF NINGBO INSTITUTE OF EDUCATION
    2010年 5期 82-85 ,共4页

    李根%张高会

    리근%장고회

    硬质薄膜%CVD%PVD%双辉 硬質薄膜%CVD%PVD%雙輝
    경질박막%CVD%PVD%쌍휘
    论述了硬质薄膜的发展历史,分析了近年来硬质薄膜的发展现状;叙述了合成硬质薄膜的几种方法,并对各种方法的优缺点进行了对比分析.指出类金刚石薄膜、纳米复合硬质薄膜等依然是今后一段时期的研究热点.
    논술료경질박막적발전역사,분석료근년래경질박막적발전현상;서술료합성경질박막적궤충방법,병대각충방법적우결점진행료대비분석.지출류금강석박막、납미복합경질박막등의연시금후일단시기적연구열점.
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