红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2010年
6期
1044-1048
,共5页
姜涛%赵清亮%董志伟%樊荣伟%于欣
薑濤%趙清亮%董誌偉%樊榮偉%于訢
강도%조청량%동지위%번영위%우흔
飞秒激光%SiC%烧蚀阈值%材料去除机理
飛秒激光%SiC%燒蝕閾值%材料去除機理
비초격광%SiC%소식역치%재료거제궤리
应用处于近红外区域波段的飞秒激光对宽带隙材料SiC的烧蚀机理及其相互作用过程进行了研究.分别采用扫描电子显微镜(SEM)、表面粗糙度轮廓仪(Talysurf)和光学显微镜(OM)等分析技术对烧蚀区和未烧蚀区的表面微观形貌进行了检测和评价.不仅在烧蚀表面观察到了烧蚀区、定向波纹区和改性区等不同形貌特征,而且对加工阶段进行分离.并求出加工SiC时强烧蚀和弱烧蚀的阈值分别为0.13 J/cm2和0.61 J/cm2.根据实验结果得到了加工参数与烧蚀形貌之间的映射关系,发现入射激光的能量是决定材料去除方式的关键参数.
應用處于近紅外區域波段的飛秒激光對寬帶隙材料SiC的燒蝕機理及其相互作用過程進行瞭研究.分彆採用掃描電子顯微鏡(SEM)、錶麵粗糙度輪廓儀(Talysurf)和光學顯微鏡(OM)等分析技術對燒蝕區和未燒蝕區的錶麵微觀形貌進行瞭檢測和評價.不僅在燒蝕錶麵觀察到瞭燒蝕區、定嚮波紋區和改性區等不同形貌特徵,而且對加工階段進行分離.併求齣加工SiC時彊燒蝕和弱燒蝕的閾值分彆為0.13 J/cm2和0.61 J/cm2.根據實驗結果得到瞭加工參數與燒蝕形貌之間的映射關繫,髮現入射激光的能量是決定材料去除方式的關鍵參數.
응용처우근홍외구역파단적비초격광대관대극재료SiC적소식궤리급기상호작용과정진행료연구.분별채용소묘전자현미경(SEM)、표면조조도륜곽의(Talysurf)화광학현미경(OM)등분석기술대소식구화미소식구적표면미관형모진행료검측화평개.불부재소식표면관찰도료소식구、정향파문구화개성구등불동형모특정,이차대가공계단진행분리.병구출가공SiC시강소식화약소식적역치분별위0.13 J/cm2화0.61 J/cm2.근거실험결과득도료가공삼수여소식형모지간적영사관계,발현입사격광적능량시결정재료거제방식적관건삼수.
