光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2011年
2期
46-50
,共5页
邵秀梅%马学亮%于月华%方家熊
邵秀梅%馬學亮%于月華%方傢熊
소수매%마학량%우월화%방가웅
焦平面%热释电%PMN-PT单晶%非制冷
焦平麵%熱釋電%PMN-PT單晶%非製冷
초평면%열석전%PMN-PT단정%비제랭
PMN-PT是一种综合性能优异的新型热释电材料.本文以PMN-PT单晶作为热释电探测器材料,开展了8×1线列探测器的芯片结构设计及器件关键工艺研究,获得了8元热释电探测器芯片,电压响应率约280N/W.同时,实现了8元热释电光敏芯片与8元读出电路的耦合互连,得到了8元热释电焦平面原型器件,并进行了性能测试.由于读出电路对可见光存在响应,影响了焦平面模块的热释电信号提取,电路设计有待改进.本丈的研究为基于新型弛豫铁电单晶的大规模非制冷焦平面的研制奠定了一定的基础.
PMN-PT是一種綜閤性能優異的新型熱釋電材料.本文以PMN-PT單晶作為熱釋電探測器材料,開展瞭8×1線列探測器的芯片結構設計及器件關鍵工藝研究,穫得瞭8元熱釋電探測器芯片,電壓響應率約280N/W.同時,實現瞭8元熱釋電光敏芯片與8元讀齣電路的耦閤互連,得到瞭8元熱釋電焦平麵原型器件,併進行瞭性能測試.由于讀齣電路對可見光存在響應,影響瞭焦平麵模塊的熱釋電信號提取,電路設計有待改進.本丈的研究為基于新型弛豫鐵電單晶的大規模非製冷焦平麵的研製奠定瞭一定的基礎.
PMN-PT시일충종합성능우이적신형열석전재료.본문이PMN-PT단정작위열석전탐측기재료,개전료8×1선렬탐측기적심편결구설계급기건관건공예연구,획득료8원열석전탐측기심편,전압향응솔약280N/W.동시,실현료8원열석전광민심편여8원독출전로적우합호련,득도료8원열석전초평면원형기건,병진행료성능측시.유우독출전로대가견광존재향응,영향료초평면모괴적열석전신호제취,전로설계유대개진.본장적연구위기우신형이예철전단정적대규모비제랭초평면적연제전정료일정적기출.
