微电子技术
微電子技術
미전자기술
MICRO ELECTRONIC TECHNOLOGY
2003年
4期
34-38
,共5页
药物控释系统%微型泵%MEMS
藥物控釋繫統%微型泵%MEMS
약물공석계통%미형빙%MEMS
本文探讨了一种医疗用微药物控释系统,对其关键器件-微型泵、微型阀进行了设计、建模和仿真.选取双金属片加热式膜片泵的模式,设计了泵的入口、泵腔、上下两片双金属加热膜片、多晶硅加热电阻、两个被动式微型阀、流体沟道和出口.全部工艺采用微型机电系统(MEMS)技术加工制作.为了确定所设计的微型泵的尺寸,对泵腔进行了模型分析,以使其在最大容积与最小的模型尺寸间达到最优.采用有限元分析法对电场热效应进行了仿真.基于仿真结果,进行了微型泵系统的加工制造.
本文探討瞭一種醫療用微藥物控釋繫統,對其關鍵器件-微型泵、微型閥進行瞭設計、建模和倣真.選取雙金屬片加熱式膜片泵的模式,設計瞭泵的入口、泵腔、上下兩片雙金屬加熱膜片、多晶硅加熱電阻、兩箇被動式微型閥、流體溝道和齣口.全部工藝採用微型機電繫統(MEMS)技術加工製作.為瞭確定所設計的微型泵的呎吋,對泵腔進行瞭模型分析,以使其在最大容積與最小的模型呎吋間達到最優.採用有限元分析法對電場熱效應進行瞭倣真.基于倣真結果,進行瞭微型泵繫統的加工製造.
본문탐토료일충의료용미약물공석계통,대기관건기건-미형빙、미형벌진행료설계、건모화방진.선취쌍금속편가열식막편빙적모식,설계료빙적입구、빙강、상하량편쌍금속가열막편、다정규가열전조、량개피동식미형벌、류체구도화출구.전부공예채용미형궤전계통(MEMS)기술가공제작.위료학정소설계적미형빙적척촌,대빙강진행료모형분석,이사기재최대용적여최소적모형척촌간체도최우.채용유한원분석법대전장열효응진행료방진.기우방진결과,진행료미형빙계통적가공제조.
