机械设计与研究
機械設計與研究
궤계설계여연구
MACHINE DESIGN AND RESEARCH
2004年
1期
77-80
,共4页
王延风%卢志山%宋文荣%田兴志%何惠阳
王延風%盧誌山%宋文榮%田興誌%何惠暘
왕연풍%로지산%송문영%전흥지%하혜양
CAD/CAE%磁悬浮%光刻%定位精度%有限元方法%电磁场分析%模态分析和测试
CAD/CAE%磁懸浮%光刻%定位精度%有限元方法%電磁場分析%模態分析和測試
CAD/CAE%자현부%광각%정위정도%유한원방법%전자장분석%모태분석화측시
采用CAD/CAE技术手段设计了一种新型磁悬浮超精密工作台,它是针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机而研制的快速步进、精密定位机构.利用磁悬浮技术将工作台悬浮在X、Y导轨上,消除了导轨的摩擦和磨损;直线电机无接触驱动实现了工件台的精密定位.用UG软件,构造了磁悬浮工作台的三维实体模型,并进行了机构运动分析仿真;用ANSYS软件进行了磁悬浮系统的电磁场分析,可得到磁通量密度,磁场强度,磁力,以及能量损耗和漏磁量;对磁悬浮工作台进行了有限元力学分析和结论优化,并结合实验测试,可使工作台在X、Y 方向能量满足0.02μm的定位精度要求以及达到0.1μm调焦精度和3.0μrad调平精度的要求.
採用CAD/CAE技術手段設計瞭一種新型磁懸浮超精密工作檯,它是針對微電子行業IC芯片製造設備如光刻機而研製的快速步進、精密定位機構.利用磁懸浮技術將工作檯懸浮在X、Y導軌上,消除瞭導軌的摩抆和磨損;直線電機無接觸驅動實現瞭工件檯的精密定位.用UG軟件,構造瞭磁懸浮工作檯的三維實體模型,併進行瞭機構運動分析倣真;用ANSYS軟件進行瞭磁懸浮繫統的電磁場分析,可得到磁通量密度,磁場彊度,磁力,以及能量損耗和漏磁量;對磁懸浮工作檯進行瞭有限元力學分析和結論優化,併結閤實驗測試,可使工作檯在X、Y 方嚮能量滿足0.02μm的定位精度要求以及達到0.1μm調焦精度和3.0μrad調平精度的要求.
채용CAD/CAE기술수단설계료일충신형자현부초정밀공작태,타시침대미전자행업IC심편제조설비여광각궤이연제적쾌속보진、정밀정위궤구.이용자현부기술장공작태현부재X、Y도궤상,소제료도궤적마찰화마손;직선전궤무접촉구동실현료공건태적정밀정위.용UG연건,구조료자현부공작태적삼유실체모형,병진행료궤구운동분석방진;용ANSYS연건진행료자현부계통적전자장분석,가득도자통량밀도,자장강도,자력,이급능량손모화루자량;대자현부공작태진행료유한원역학분석화결론우화,병결합실험측시,가사공작태재X、Y 방향능량만족0.02μm적정위정도요구이급체도0.1μm조초정도화3.0μrad조평정도적요구.
