光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2007年
10期
1788-1792
,共5页
张怡霄%姚欣%高福华%郭永康
張怡霄%姚訢%高福華%郭永康
장이소%요흔%고복화%곽영강
集成光学%误差扩散%灰阶编码%色分离光栅(CSG)%光束采样光栅(BSG)%惯性约束聚变驱动器
集成光學%誤差擴散%灰階編碼%色分離光柵(CSG)%光束採樣光柵(BSG)%慣性約束聚變驅動器
집성광학%오차확산%회계편마%색분리광책(CSG)%광속채양광책(BSG)%관성약속취변구동기
针对多次曝光法制作集成衍射光学元件时存在的加工制作复杂,会引入较大的对位误差等问题,基于计算全息中的误差扩散编码原理及部分相干光成像理论,提出采用误差扩散编码方法来设计用于制作浮雕结构集成元件的编码掩模的新方法.给出了利用误差扩散法设计的色分离光栅-光束采样光栅(CSG-BSG)集成元件编码掩模,模拟计算了经部分相干成像系统后的空间像光强分布,并与理想的集成元件面形进行了比较.结果表明,校正后均方差为7.5%,体积偏差为10.2%.
針對多次曝光法製作集成衍射光學元件時存在的加工製作複雜,會引入較大的對位誤差等問題,基于計算全息中的誤差擴散編碼原理及部分相榦光成像理論,提齣採用誤差擴散編碼方法來設計用于製作浮彫結構集成元件的編碼掩模的新方法.給齣瞭利用誤差擴散法設計的色分離光柵-光束採樣光柵(CSG-BSG)集成元件編碼掩模,模擬計算瞭經部分相榦成像繫統後的空間像光彊分佈,併與理想的集成元件麵形進行瞭比較.結果錶明,校正後均方差為7.5%,體積偏差為10.2%.
침대다차폭광법제작집성연사광학원건시존재적가공제작복잡,회인입교대적대위오차등문제,기우계산전식중적오차확산편마원리급부분상간광성상이론,제출채용오차확산편마방법래설계용우제작부조결구집성원건적편마엄모적신방법.급출료이용오차확산법설계적색분리광책-광속채양광책(CSG-BSG)집성원건편마엄모,모의계산료경부분상간성상계통후적공간상광강분포,병여이상적집성원건면형진행료비교.결과표명,교정후균방차위7.5%,체적편차위10.2%.
