传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
4期
615-618
,共4页
微致动器%电热%多晶硅%动态特性%MEMS
微緻動器%電熱%多晶硅%動態特性%MEMS
미치동기%전열%다정규%동태특성%MEMS
提出了V型电热硅微致动器的弯曲振动力学模型.考虑到微米尺度上的硅梁难以简化为质量块、弹簧振动模型,采用了连续体建模,据此可进行其模态分析及动态频率特性的理论研究.利用自行设计制造的在线动态测试机构,测试了V型电热硅微致器在不同激励电压驱动下的响应输出,结果表明其位移输出也是随交变驱动电压的变化而非同步地发生变化.
提齣瞭V型電熱硅微緻動器的彎麯振動力學模型.攷慮到微米呎度上的硅樑難以簡化為質量塊、彈簧振動模型,採用瞭連續體建模,據此可進行其模態分析及動態頻率特性的理論研究.利用自行設計製造的在線動態測試機構,測試瞭V型電熱硅微緻器在不同激勵電壓驅動下的響應輸齣,結果錶明其位移輸齣也是隨交變驅動電壓的變化而非同步地髮生變化.
제출료V형전열규미치동기적만곡진동역학모형.고필도미미척도상적규량난이간화위질량괴、탄황진동모형,채용료련속체건모,거차가진행기모태분석급동태빈솔특성적이론연구.이용자행설계제조적재선동태측시궤구,측시료V형전열규미치기재불동격려전압구동하적향응수출,결과표명기위이수출야시수교변구동전압적변화이비동보지발생변화.
