物理学报
物理學報
물이학보
2008年
3期
1935-1940
,共6页
赵栋才%任妮%马占吉%邱家稳%肖更竭%武生虎
趙棟纔%任妮%馬佔吉%邱傢穩%肖更竭%武生虎
조동재%임니%마점길%구가은%초경갈%무생호
类金刚石膜%掺硅%应力%硬度
類金剛石膜%摻硅%應力%硬度
류금강석막%참규%응력%경도
用脉冲电弧离子镀技术,通过调整掺硅石墨靶和纯石墨靶的数量,制备了一系列不同硅含量的类金刚石薄膜样品.研究发现:当硅含量达6.7at.%时,类金刚石薄膜的应力从4.5 GPa降低到3.1 GPa,薄膜的硬度还保持在3600Hv,和没有掺杂的类金刚石薄膜的硬度相比,基本保持不变;当硅含量小于6.7at.%时薄膜的摩擦系数相对于未掺杂的类金刚石薄膜也保持不变,为0.15.当薄膜中硅含量继续增加时,薄膜中C-Si键的含量增多,导致薄膜硬度和应力都有较大幅度地减小、摩擦系数增大、磨损性能也变差了.
用脈遲電弧離子鍍技術,通過調整摻硅石墨靶和純石墨靶的數量,製備瞭一繫列不同硅含量的類金剛石薄膜樣品.研究髮現:噹硅含量達6.7at.%時,類金剛石薄膜的應力從4.5 GPa降低到3.1 GPa,薄膜的硬度還保持在3600Hv,和沒有摻雜的類金剛石薄膜的硬度相比,基本保持不變;噹硅含量小于6.7at.%時薄膜的摩抆繫數相對于未摻雜的類金剛石薄膜也保持不變,為0.15.噹薄膜中硅含量繼續增加時,薄膜中C-Si鍵的含量增多,導緻薄膜硬度和應力都有較大幅度地減小、摩抆繫數增大、磨損性能也變差瞭.
용맥충전호리자도기술,통과조정참규석묵파화순석묵파적수량,제비료일계렬불동규함량적류금강석박막양품.연구발현:당규함량체6.7at.%시,류금강석박막적응력종4.5 GPa강저도3.1 GPa,박막적경도환보지재3600Hv,화몰유참잡적류금강석박막적경도상비,기본보지불변;당규함량소우6.7at.%시박막적마찰계수상대우미참잡적류금강석박막야보지불변,위0.15.당박막중규함량계속증가시,박막중C-Si건적함량증다,도치박막경도화응력도유교대폭도지감소、마찰계수증대、마손성능야변차료.
