南京大学学报(自然科学版)
南京大學學報(自然科學版)
남경대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF NANJING UNIVERSITY
2001年
4期
497-501
,共5页
黄晓辉%徐骏%李伟%马天夫%王立%陈坤基
黃曉輝%徐駿%李偉%馬天伕%王立%陳坤基
황효휘%서준%리위%마천부%왕립%진곤기
有机源%光致发光%非晶碳
有機源%光緻髮光%非晶碳
유궤원%광치발광%비정탄
利用有机碳源(二甲苯),采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统制备了一系列氢化非晶碳(a-C:H)薄膜样品.与利用甲烷(CH4)制备的a-C:H不同,该样品的光致发光峰位于蓝绿光范围并且呈现多峰结构,而不是表现为一个较宽的单峰.同时样品发光峰的特征随着制备过程中功率不同而变化.认为:a-C:H薄膜中的芳香环结构的引入产生了新的发光中心,导致PL谱中新峰位的出现.
利用有機碳源(二甲苯),採用等離子體增彊化學氣相沉積(PECVD)繫統製備瞭一繫列氫化非晶碳(a-C:H)薄膜樣品.與利用甲烷(CH4)製備的a-C:H不同,該樣品的光緻髮光峰位于藍綠光範圍併且呈現多峰結構,而不是錶現為一箇較寬的單峰.同時樣品髮光峰的特徵隨著製備過程中功率不同而變化.認為:a-C:H薄膜中的芳香環結構的引入產生瞭新的髮光中心,導緻PL譜中新峰位的齣現.
이용유궤탄원(이갑분),채용등리자체증강화학기상침적(PECVD)계통제비료일계렬경화비정탄(a-C:H)박막양품.여이용갑완(CH4)제비적a-C:H불동,해양품적광치발광봉위우람록광범위병차정현다봉결구,이불시표현위일개교관적단봉.동시양품발광봉적특정수착제비과정중공솔불동이변화.인위:a-C:H박막중적방향배결구적인입산생료신적발광중심,도치PL보중신봉위적출현.
