功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2009年
8期
1372-1375,1378
,共5页
沈阳%王贵学%张勤%葛淑萍%唐朝君%俞青松
瀋暘%王貴學%張勤%葛淑萍%唐朝君%俞青鬆
침양%왕귀학%장근%갈숙평%당조군%유청송
等离子体沉积SiOx:H纳米膜层%医用NiTi合金%表面改性
等離子體沉積SiOx:H納米膜層%醫用NiTi閤金%錶麵改性
등리자체침적SiOx:H납미막층%의용NiTi합금%표면개성
采用等离子体沉积技术在医用NiTi合金表面制备非晶SiOx:H纳米膜层,并对改性后材料表面化学及膜层晶体结构等进行表征.结果表明,通过控制TMS和O2两种单体流速比和沉积时间,可控制材料表面亲疏水性和SiOx:H纳米膜层厚度.反应沉积的SiOx:H具有非晶的结构.其最优化条件为;μ(TMS):μ(O2)=1:4,系统压力3.33Pa,D.C 5W,沉积时间4min.所制备的膜层厚度约为45nm,表面去离子水接触角为30～40°.SiOx:H纳米膜层改性NiTi合金表面可提高材料的抗腐蚀性能.
採用等離子體沉積技術在醫用NiTi閤金錶麵製備非晶SiOx:H納米膜層,併對改性後材料錶麵化學及膜層晶體結構等進行錶徵.結果錶明,通過控製TMS和O2兩種單體流速比和沉積時間,可控製材料錶麵親疏水性和SiOx:H納米膜層厚度.反應沉積的SiOx:H具有非晶的結構.其最優化條件為;μ(TMS):μ(O2)=1:4,繫統壓力3.33Pa,D.C 5W,沉積時間4min.所製備的膜層厚度約為45nm,錶麵去離子水接觸角為30～40°.SiOx:H納米膜層改性NiTi閤金錶麵可提高材料的抗腐蝕性能.
채용등리자체침적기술재의용NiTi합금표면제비비정SiOx:H납미막층,병대개성후재료표면화학급막층정체결구등진행표정.결과표명,통과공제TMS화O2량충단체류속비화침적시간,가공제재료표면친소수성화SiOx:H납미막층후도.반응침적적SiOx:H구유비정적결구.기최우화조건위;μ(TMS):μ(O2)=1:4,계통압력3.33Pa,D.C 5W,침적시간4min.소제비적막층후도약위45nm,표면거리자수접촉각위30～40°.SiOx:H납미막층개성NiTi합금표면가제고재료적항부식성능.
