功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2009年
9期
1552-1554
,共3页
林万明%卫英慧%杜华云%毕海香%侯利锋
林萬明%衛英慧%杜華雲%畢海香%侯利鋒
림만명%위영혜%두화운%필해향%후리봉
表面纳米化%离子注入%铜
錶麵納米化%離子註入%銅
표면납미화%리자주입%동
为了改善金属材料表面的综合性能,将表面改性技术和纳米技术相结合逐渐得到了人们的重视.用金属蒸气孤(MEVVA)源离子注入机,将能量为40keV,剂量为2×1017iONS/cm2的Ti离子注入纳米纯铜中.利用透射电子显微镜(TEM)、X射线衍射仪(XRD)、俄歇电子能谱(AES)对表层组织及注入浓度分布等进行了分析.研究结果表明,纯铜表面经过SMAT纳米化处理后,注入元素的浓度呈现高斯分布,与未处理的样品相比,峰值浓度提高了30%,注入深度达到160nm.
為瞭改善金屬材料錶麵的綜閤性能,將錶麵改性技術和納米技術相結閤逐漸得到瞭人們的重視.用金屬蒸氣孤(MEVVA)源離子註入機,將能量為40keV,劑量為2×1017iONS/cm2的Ti離子註入納米純銅中.利用透射電子顯微鏡(TEM)、X射線衍射儀(XRD)、俄歇電子能譜(AES)對錶層組織及註入濃度分佈等進行瞭分析.研究結果錶明,純銅錶麵經過SMAT納米化處理後,註入元素的濃度呈現高斯分佈,與未處理的樣品相比,峰值濃度提高瞭30%,註入深度達到160nm.
위료개선금속재료표면적종합성능,장표면개성기술화납미기술상결합축점득도료인문적중시.용금속증기고(MEVVA)원리자주입궤,장능량위40keV,제량위2×1017iONS/cm2적Ti리자주입납미순동중.이용투사전자현미경(TEM)、X사선연사의(XRD)、아헐전자능보(AES)대표층조직급주입농도분포등진행료분석.연구결과표명,순동표면경과SMAT납미화처리후,주입원소적농도정현고사분포,여미처리적양품상비,봉치농도제고료30%,주입심도체도160nm.