微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2010年
5期
290-296
,共7页
何晶晶%吴雪梅%诸葛兰剑%葛水兵
何晶晶%吳雪梅%諸葛蘭劍%葛水兵
하정정%오설매%제갈란검%갈수병
绒面掺铝氧化锌%透明导电薄膜%磁控溅射%湿法刻蚀%太阳电池
絨麵摻鋁氧化鋅%透明導電薄膜%磁控濺射%濕法刻蝕%太暘電池
융면참려양화자%투명도전박막%자공천사%습법각식%태양전지
绒面掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜由于电阻率低、在可见光区域透过率高、绒面结构能有效散射入射光,提高太阳电池光电转换效率,被广泛应用于太阳电池前电极.概述了绒面AZO薄膜的制备方法,重点介绍了磁控溅射技术沉积AZO薄膜后再进行湿法刻蚀制绒面方法,制备的样品呈现"坑状"或"类月球地貌"的绒面,并讨论了工艺对薄膜结构、光电性能和刻蚀行为的影响,最后介绍了绒面AZO薄膜在硅薄膜太阳电池中的应用,进一步降低生产成本和实现大规模产业化生产是绒面AZO薄膜的发展趋势.
絨麵摻鋁氧化鋅(AZO)透明導電薄膜由于電阻率低、在可見光區域透過率高、絨麵結構能有效散射入射光,提高太暘電池光電轉換效率,被廣汎應用于太暘電池前電極.概述瞭絨麵AZO薄膜的製備方法,重點介紹瞭磁控濺射技術沉積AZO薄膜後再進行濕法刻蝕製絨麵方法,製備的樣品呈現"坑狀"或"類月毬地貌"的絨麵,併討論瞭工藝對薄膜結構、光電性能和刻蝕行為的影響,最後介紹瞭絨麵AZO薄膜在硅薄膜太暘電池中的應用,進一步降低生產成本和實現大規模產業化生產是絨麵AZO薄膜的髮展趨勢.
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