红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2010年
5期
875-878
,共4页
程勇%郭延龙%王淑云%米朝伟%丁方正%万强
程勇%郭延龍%王淑雲%米朝偉%丁方正%萬彊
정용%곽연룡%왕숙운%미조위%정방정%만강
激光沉积%类金刚石膜%硅基底%光学应用
激光沉積%類金剛石膜%硅基底%光學應用
격광침적%류금강석막%규기저%광학응용
研究了氧气氛和掺硅对类金刚石(DLC)膜性能的影响机理.采用飞秒激光烧蚀石墨靶材,通过氧气氛、掺硅和离轴平移旋转等技术,在硅基底上镀制出比传统工艺透过率、硬度、附着力和稳定性等性能更优的无氢DLC膜.实验验证了随着氧气氛压强的增大,样片透过率先增大后减小,存在一个最佳气压(2 Pa).并且掺硅有助于改善DLC膜的性能,掺硅量也存在一个最佳值.在3-5 μm波段,正面镀DLC膜、背面镀普通增透膜的硅红外窗口的平均透过率≥91.7%,DLC膜的纳米硬度高达40～50 GPa.且通过军标规定的高温、低温、湿热、盐雾、重摩擦等环境实验.满足光学窗口工程应用的要求.
研究瞭氧氣氛和摻硅對類金剛石(DLC)膜性能的影響機理.採用飛秒激光燒蝕石墨靶材,通過氧氣氛、摻硅和離軸平移鏇轉等技術,在硅基底上鍍製齣比傳統工藝透過率、硬度、附著力和穩定性等性能更優的無氫DLC膜.實驗驗證瞭隨著氧氣氛壓彊的增大,樣片透過率先增大後減小,存在一箇最佳氣壓(2 Pa).併且摻硅有助于改善DLC膜的性能,摻硅量也存在一箇最佳值.在3-5 μm波段,正麵鍍DLC膜、揹麵鍍普通增透膜的硅紅外窗口的平均透過率≥91.7%,DLC膜的納米硬度高達40～50 GPa.且通過軍標規定的高溫、低溫、濕熱、鹽霧、重摩抆等環境實驗.滿足光學窗口工程應用的要求.
연구료양기분화참규대류금강석(DLC)막성능적영향궤리.채용비초격광소식석묵파재,통과양기분、참규화리축평이선전등기술,재규기저상도제출비전통공예투과솔、경도、부착력화은정성등성능경우적무경DLC막.실험험증료수착양기분압강적증대,양편투과솔선증대후감소,존재일개최가기압(2 Pa).병차참규유조우개선DLC막적성능,참규량야존재일개최가치.재3-5 μm파단,정면도DLC막、배면도보통증투막적규홍외창구적평균투과솔≥91.7%,DLC막적납미경도고체40～50 GPa.차통과군표규정적고온、저온、습열、염무、중마찰등배경실험.만족광학창구공정응용적요구.
