石油化工
石油化工
석유화공
PETROCHEMICAL TECHNOLOGY
2004年
10期
964-967
,共4页
郑学根%邱晓生%王长明%阳晓辉
鄭學根%邱曉生%王長明%暘曉輝
정학근%구효생%왕장명%양효휘
高纯%乙腈%酸碱清洗液%半导体
高純%乙腈%痠堿清洗液%半導體
고순%을정%산감청세액%반도체
以工业乙腈为原料,采用干燥脱水-亚沸蒸馏-膜过滤组合工艺,制备出超净高纯乙腈,讨论了实验室洁净度、实验设备和器皿的材质、亚沸蒸馏次数、膜种类、膜孔径等因素对产品质量的影响.平行实验结果表明,在优化条件下,能够制备质量稳定的超净高纯乙腈产品,应用评价结果显示其清洗效果总体优于常规补充金属氧化物半导体级酸碱清洗液,可应用在半导体器件相应的清洗工艺中.
以工業乙腈為原料,採用榦燥脫水-亞沸蒸餾-膜過濾組閤工藝,製備齣超淨高純乙腈,討論瞭實驗室潔淨度、實驗設備和器皿的材質、亞沸蒸餾次數、膜種類、膜孔徑等因素對產品質量的影響.平行實驗結果錶明,在優化條件下,能夠製備質量穩定的超淨高純乙腈產品,應用評價結果顯示其清洗效果總體優于常規補充金屬氧化物半導體級痠堿清洗液,可應用在半導體器件相應的清洗工藝中.
이공업을정위원료,채용간조탈수-아비증류-막과려조합공예,제비출초정고순을정,토론료실험실길정도、실험설비화기명적재질、아비증류차수、막충류、막공경등인소대산품질량적영향.평행실험결과표명,재우화조건하,능구제비질량은정적초정고순을정산품,응용평개결과현시기청세효과총체우우상규보충금속양화물반도체급산감청세액,가응용재반도체기건상응적청세공예중.
