光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2005年
2期
233-236
,共4页
光学器件%位置敏感探测器%横向光电效应%枕型二维位置敏感探测器
光學器件%位置敏感探測器%橫嚮光電效應%枕型二維位置敏感探測器
광학기건%위치민감탐측기%횡향광전효응%침형이유위치민감탐측기
证明了枕型二维位置敏感探测器设计的基本原理--Gear定理,并推导了适用于枕型二维位置敏感探测器的位置计算公式,此外还提出了枕型二维位置敏感探测器的制作工艺和测试结果.采用集成电路工艺所研制的枕型二维位置敏感探测器(光敏面为8 mm×8 mm)表现出良好的光电特性,当反偏为5 V时其暗电流约为15 nA,峰值时的光谱灵敏度超过了0.6 A/W.在所测量的75%光敏区域内,均方根位置误差约为0.135 mm,而以均方根位置误差表示的非线性度在1.1%左右,比四边形二维位置敏感探测器的位置线性度提高了近一个数量级.
證明瞭枕型二維位置敏感探測器設計的基本原理--Gear定理,併推導瞭適用于枕型二維位置敏感探測器的位置計算公式,此外還提齣瞭枕型二維位置敏感探測器的製作工藝和測試結果.採用集成電路工藝所研製的枕型二維位置敏感探測器(光敏麵為8 mm×8 mm)錶現齣良好的光電特性,噹反偏為5 V時其暗電流約為15 nA,峰值時的光譜靈敏度超過瞭0.6 A/W.在所測量的75%光敏區域內,均方根位置誤差約為0.135 mm,而以均方根位置誤差錶示的非線性度在1.1%左右,比四邊形二維位置敏感探測器的位置線性度提高瞭近一箇數量級.
증명료침형이유위치민감탐측기설계적기본원리--Gear정리,병추도료괄용우침형이유위치민감탐측기적위치계산공식,차외환제출료침형이유위치민감탐측기적제작공예화측시결과.채용집성전로공예소연제적침형이유위치민감탐측기(광민면위8 mm×8 mm)표현출량호적광전특성,당반편위5 V시기암전류약위15 nA,봉치시적광보령민도초과료0.6 A/W.재소측량적75%광민구역내,균방근위치오차약위0.135 mm,이이균방근위치오차표시적비선성도재1.1%좌우,비사변형이유위치민감탐측기적위치선성도제고료근일개수량급.
