纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2005年
3期
199-203
,共5页
周煜%李德胜%李浩群%刘本东
週煜%李德勝%李浩群%劉本東
주욱%리덕성%리호군%류본동
微机电系统%按需喷射%压电薄膜%压电耦合%合成喷%ANSYS
微機電繫統%按需噴射%壓電薄膜%壓電耦閤%閤成噴%ANSYS
미궤전계통%안수분사%압전박막%압전우합%합성분%ANSYS
为研究压电薄膜驱动的应用,介绍了一种MEMS压电喷墨打印机喷头的工作原理.重点研究了逆压电效应作用产生的机械振动特性.模型结构由一种耐热玻璃与沉积在其表面的压电薄膜复合而成.针对圆形、方形两种形状的压电薄膜,利用有限元分析软件ANSYS分别求得复合结构的最大静位移0.57μm和0.36 μm,一阶固有频率23.90 kHz和22.30 kHz,并比较了两种情况下的动力特性.仿真结果表明,所施加驱动交流电压的频率对该结构可产生很大的影响,其最大机械变形主要取决于谐振频率,从而为喷墨打印机喷头及类似器件的设计提供参考.
為研究壓電薄膜驅動的應用,介紹瞭一種MEMS壓電噴墨打印機噴頭的工作原理.重點研究瞭逆壓電效應作用產生的機械振動特性.模型結構由一種耐熱玻璃與沉積在其錶麵的壓電薄膜複閤而成.針對圓形、方形兩種形狀的壓電薄膜,利用有限元分析軟件ANSYS分彆求得複閤結構的最大靜位移0.57μm和0.36 μm,一階固有頻率23.90 kHz和22.30 kHz,併比較瞭兩種情況下的動力特性.倣真結果錶明,所施加驅動交流電壓的頻率對該結構可產生很大的影響,其最大機械變形主要取決于諧振頻率,從而為噴墨打印機噴頭及類似器件的設計提供參攷.
위연구압전박막구동적응용,개소료일충MEMS압전분묵타인궤분두적공작원리.중점연구료역압전효응작용산생적궤계진동특성.모형결구유일충내열파리여침적재기표면적압전박막복합이성.침대원형、방형량충형상적압전박막,이용유한원분석연건ANSYS분별구득복합결구적최대정위이0.57μm화0.36 μm,일계고유빈솔23.90 kHz화22.30 kHz,병비교료량충정황하적동력특성.방진결과표명,소시가구동교류전압적빈솔대해결구가산생흔대적영향,기최대궤계변형주요취결우해진빈솔,종이위분묵타인궤분두급유사기건적설계제공삼고.
