清华大学学报（自然科学版）
清華大學學報（自然科學版）
청화대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TSINGHUA UNIVERSITY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
3期
389-392
,共4页
王华博%孙文廷%李和平%包成玉
王華博%孫文廷%李和平%包成玉
왕화박%손문정%리화평%포성옥
等离子体物理%大气压辉光放电%射频%放电模式
等離子體物理%大氣壓輝光放電%射頻%放電模式
등리자체물리%대기압휘광방전%사빈%방전모식
大气压射频辉光放电冷等离子体由于摆脱了真空腔的限制,在生物医学、电子工业、国防等领域有非常广阔的应用前景.为了拓展等离子体形成气体的种类,降低该技术的应用成本,对大气压下纯氮射频放电进行了研究.实验中采用13.56 MHz射频电源和裸露的平板电极在大气压下实现了纯氮射频辉光放电,并比较了纯氦、纯氮和氦-氮混合气体条件下的放电特性.实验结果表明,大气压条件下,纯氦辉光放电具有两个稳定的放电模式(a模式和r模式),而纯氮目前则只能稳定地工作在r放电模式.
大氣壓射頻輝光放電冷等離子體由于襬脫瞭真空腔的限製,在生物醫學、電子工業、國防等領域有非常廣闊的應用前景.為瞭拓展等離子體形成氣體的種類,降低該技術的應用成本,對大氣壓下純氮射頻放電進行瞭研究.實驗中採用13.56 MHz射頻電源和裸露的平闆電極在大氣壓下實現瞭純氮射頻輝光放電,併比較瞭純氦、純氮和氦-氮混閤氣體條件下的放電特性.實驗結果錶明,大氣壓條件下,純氦輝光放電具有兩箇穩定的放電模式(a模式和r模式),而純氮目前則隻能穩定地工作在r放電模式.
대기압사빈휘광방전랭등리자체유우파탈료진공강적한제,재생물의학、전자공업、국방등영역유비상엄활적응용전경.위료탁전등리자체형성기체적충류,강저해기술적응용성본,대대기압하순담사빈방전진행료연구.실험중채용13.56 MHz사빈전원화라로적평판전겁재대기압하실현료순담사빈휘광방전,병비교료순양、순담화양-담혼합기체조건하적방전특성.실험결과표명,대기압조건하,순양휘광방전구유량개은정적방전모식(a모식화r모식),이순담목전칙지능은정지공작재r방전모식.
