真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
1期
55-58
,共4页
王贺权%巴德纯%沈辉%闻立时
王賀權%巴德純%瀋輝%聞立時
왕하권%파덕순%침휘%문립시
直流反应磁控溅射%二氧化钛薄膜%太阳电池%反射率
直流反應磁控濺射%二氧化鈦薄膜%太暘電池%反射率
직류반응자공천사%이양화태박막%태양전지%반사솔
应用直流反应磁控溅射设备在硅基底上制备TiO2薄膜,利用n&k仪对薄膜的反射率进行检测,结果表明TiO2薄膜可以作为太阳电池减反射薄膜应用,并且通过改变工艺条件可以调控薄膜的反射低谷.当总压强为2×10-1Pa、O2流量为15 sccm、靶基距为190 mm、温度为60℃的条件下制备的TiO2薄膜的减反射效果最好.
應用直流反應磁控濺射設備在硅基底上製備TiO2薄膜,利用n&k儀對薄膜的反射率進行檢測,結果錶明TiO2薄膜可以作為太暘電池減反射薄膜應用,併且通過改變工藝條件可以調控薄膜的反射低穀.噹總壓彊為2×10-1Pa、O2流量為15 sccm、靶基距為190 mm、溫度為60℃的條件下製備的TiO2薄膜的減反射效果最好.
응용직류반응자공천사설비재규기저상제비TiO2박막,이용n&k의대박막적반사솔진행검측,결과표명TiO2박막가이작위태양전지감반사박막응용,병차통과개변공예조건가이조공박막적반사저곡.당총압강위2×10-1Pa、O2류량위15 sccm、파기거위190 mm、온도위60℃적조건하제비적TiO2박막적감반사효과최호.
